સેમિકન્ડક્ટર ચેમ્બર માટે અંતિમ માર્ગદર્શિકા: એલ્યુમિનિયમ પસંદગીની સામગ્રી કેમ છે

સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદન માટે અત્યંત ચોકસાઇની જરૂર પડે છે, અને ચેમ્બર - CVD રિએક્ટર અને એચિંગ મશીનો જેવા મહત્વપૂર્ણ ઉપકરણોનું હૃદય - એક મહત્વપૂર્ણ ભૂમિકા ભજવે છે. આ માર્ગદર્શિકા ચેમ્બર ડિઝાઇનની આવશ્યકતાઓ અને ઉચ્ચ-શુદ્ધતાવાળા એલ્યુમિનિયમ એલોય ઉદ્યોગના મુખ્ય પડકારોને કેવી રીતે હલ કરે છે તેની શોધ કરે છે.

ચેમ્બરની કામગીરીને આગળ ધપાવતા 5 મહત્વપૂર્ણ પરિબળો (અને એલ્યુમિનિયમ કેવી રીતે શ્રેષ્ઠ બને છે)

૧. અલ્ટ્રા-હાઈ વેક્યુમ (UHV) સુસંગતતા અને લીક નિવારણ

સમસ્યા: માઇક્રોસ્કોપિક લીક પ્રક્રિયાની અખંડિતતાને બગાડે છે.

એલ્યુમિનિયમ ફાયદો:સીમલેસ સીએનસી-મશીન બોડીઝએલ્યુમિનિયમ બિલેટ્સમાંથી વેલ્ડ પોઇન્ટ દૂર થાય છે. અમારું 6061-T6 એલોય 10⁻⁹ mbar·L/sec હિલીયમ લીક દર કરતાં ઓછું પ્રાપ્ત કરે છે.

2. થર્મલ મેનેજમેન્ટ: એક્સ્ટ્રીમ સાયકલિંગ હેઠળ સ્થિરતા

સમસ્યા: થર્મલ વાર્પિંગ કણોના દૂષણનું કારણ બને છે.

ઉકેલ: એલ્યુમિનિયમની શ્રેષ્ઠ થર્મલ વાહકતા (≈150 W/m·K) સ્ટેનલેસ સ્ટીલ કરતાં વધુ સારી કામગીરી બજાવે છે. અમારી કસ્ટમ-ફેબ્રિકેટેડ એલ્યુમિનિયમ પ્લેટો ±0.5°C એકરૂપતા માટે ઠંડક ચેનલોને એકીકૃત કરે છે.

3. કઠોર વાતાવરણમાં પ્લાઝ્મા કાટ પ્રતિકાર

ડેટા પોઈન્ટ: એનોડાઇઝ્ડ એલ્યુમિનિયમ (25μm+ જાડાઈ) સારવાર ન કરાયેલ સપાટીઓ સામે CF₄/O₂ પ્લાઝ્મા એક્સપોઝર કરતાં 10 ગણા લાંબા સમય સુધી ટકી રહે છે.

4. ચુંબકીય અભેદ્યતા: RF/પ્લાઝ્મા પ્રક્રિયા અખંડિતતા

એલ્યુમિનિયમ શા માટે? લગભગ શૂન્ય ચુંબકીય અભેદ્યતા એચર્સ/ઇમ્પ્લાન્ટર્સમાં ક્ષેત્ર વિકૃતિ અટકાવે છે.

૫. ખર્ચ વિરુદ્ધ પ્રદર્શન ઑપ્ટિમાઇઝેશન

કેસ સ્ટડી: મશીન્ડ સ્ટેનલેસને બદલવુંએલ્યુમિનિયમવાળા ચેમ્બરસામગ્રી ખર્ચ 40% અને મશીનિંગ સમય 35% ઘટાડે છે (2024 ઉદ્યોગ બેન્ચમાર્ક પર આધારિત).

પ્રિસિઝન ચેમ્બર માટે અમારા એલ્યુમિનિયમ સોલ્યુશન્સ

ચેમ્બર બોડીઝ અને ઢાંકણા

સામગ્રી: ૫૦૮૩/૬૦૬૧ એલ્યુમિનિયમ પ્લેટ્સ (૧૫૦ મીમી જાડા સુધી)

પ્રક્રિયા: Ra ≤ 0.8μm સપાટી પૂર્ણાહુતિ સાથે વેક્યુમ-સુસંગત CNC મશીનિંગ

મુખ્ય વિશિષ્ટતાઓ: AMS 2772 હીટ ટ્રીટમેન્ટ, 100% અલ્ટ્રાસોનિક પરીક્ષણ

ગેસ વિતરણ ઘટકો