Die Halbleiterfertigung erfordert höchste Präzision, und die Kammer – das Herzstück kritischer Anlagen wie CVD-Reaktoren und Ätzmaschinen – spielt dabei eine entscheidende Rolle. Dieser Leitfaden untersucht die Grundlagen des Kammerdesigns und zeigt, wie hochreine Aluminiumlegierungen wichtige Herausforderungen der Branche lösen.

5 kritische Faktoren für die Kammerleistung (und warum Aluminium sich auszeichnet)

1. Ultrahochvakuum (UHV)-Kompatibilität und Leckageschutz

Problem: Mikroskopische Lecks zerstören die Prozessintegrität.

Aluminiumvorteil:Nahtlose CNC-gefräste Karosserienaus Aluminiumblöcken eliminieren Schweißpunkte. Unsere 6061-T6-Legierung erreicht Heliumleckraten von < 10⁻⁹ mbar·L/sec.

2. Wärmemanagement: Stabilität bei extremen Zyklen

Problem: Thermische Verformung führt zu Partikelverunreinigungen.

Lösung: Die überlegene Wärmeleitfähigkeit von Aluminium (≈150 W/m·K) übertrifft die von Edelstahl. Unsere kundenspezifisch gefertigten Aluminiumplatten verfügen über integrierte Kühlkanäle für eine Temperaturkonstanz von ±0,5 °C.

3. Plasmakorrosionsbeständigkeit in rauen Umgebungen

Datenpunkt: Eloxiertes Aluminium (Dicke 25 μm+) hält einer 10-mal längeren CF₄/O₂-Plasmabelastung stand als unbehandelte Oberflächen.

4. Magnetische Permeabilität: HF-/Plasma-Prozessintegrität

Warum Aluminium? Nahezu keine magnetische Permeabilität verhindert Feldverzerrungen in Ätz-/Implantationsgeräten.

5. Kosten- vs. Leistungsoptimierung

Fallstudie: Ersetzen von bearbeitetem EdelstahlKammern mit Aluminiumreduziert die Materialkosten um 40 % und die Bearbeitungszeit um 35 % (basierend auf Branchen-Benchmarks von 2024).

Unsere Aluminiumlösungen für Präzisionskammern

Kammerkörper und Deckel

Material: 5083/6061 Aluminiumplatten (bis zu 150 mm dick)

Verfahren: Vakuumkompatible CNC-Bearbeitung mit einer Oberflächengüte von Ra ≤ 0,8 μm

Wichtige Spezifikationen: AMS 2772 Wärmebehandlung, 100 % Ultraschallprüfung

Gasverteilungskomponenten

Produkte: Präzisions-Aluminiumrohre (Außendurchmesser 3 mm – 200 mm) mit inneren Mikrobohrungen

Tech: Tieflochbohren (L/D-Verhältnis 30:1), Elektropolieren

Strukturelle Stützen und Befestigungselemente

Material: 7075-T651 Aluminiumstangen (hohes Verhältnis von Festigkeit zu Gewicht)

Konformität: SEMI F72-Standards zur Ausgasungskontrolle

Warum sollten Sie bei Ihrem Halbleiterkammerprojekt mit uns zusammenarbeiten?

1. Spezielle Reinraumbearbeitung: Eine Anlage der Klasse 1000 verhindert eine Partikelkontamination.

2. Materialrückverfolgbarkeit: Werksprüfberichte fürjede Aluminiumplatte/Stange/Rohr.

3. Plasmaoptimierte Endbearbeitung: Proprietäre Passivierung für Korrosionsbeständigkeit.

4. Rapid Prototyping: 15 Tage Vorlaufzeit für komplexe Kammergeometrien.