Mae gweithgynhyrchu lled-ddargludyddion yn mynnu manylder eithafol, ac mae'r siambr—calon offer hanfodol fel adweithyddion CVD a pheiriannau ysgythru—yn chwarae rhan allweddol. Mae'r canllaw hwn yn archwilio hanfodion dylunio siambr a sut mae aloion alwminiwm purdeb uchel yn datrys heriau allweddol y diwydiant.

5 Ffactor Hanfodol sy'n Gyrru Perfformiad y Siambr (A Sut Mae Alwminiwm yn Rhagorol)

1. Cydnawsedd Gwactod Ultra-Uchel (UHV) ac Atal Gollyngiadau

Problem: Mae gollyngiadau microsgopig yn difetha cyfanrwydd y broses.

Mantais Alwminiwm:Cyrff di-dor wedi'u peiriannu gan CNCo filedau alwminiwm yn dileu pwyntiau weldio. Mae ein aloi 6061-T6 yn cyflawni cyfraddau gollyngiad heliwm < 10⁻⁹ mbar·L/eiliad.

2. Rheoli Thermol: Sefydlogrwydd O dan Feicio Eithafol

Problem: Mae ystumio thermol yn achosi halogiad gronynnau.

Datrysiad: Mae dargludedd thermol uwch alwminiwm (≈150 W/m·K) yn perfformio'n well na dur di-staen. Mae ein platiau alwminiwm wedi'u cynhyrchu'n arbennig yn integreiddio sianeli oeri ar gyfer unffurfiaeth o ±0.5°C.

3. Gwrthiant Cyrydiad Plasma mewn Amgylcheddau Llym

Pwynt Data: Mae alwminiwm anodized (trwch o 25μm+) yn gwrthsefyll amlygiad plasma CF₄/O₂ 10 gwaith yn hirach o'i gymharu ag arwynebau heb eu trin.

4. Athreiddedd Magnetig: Uniondeb Proses RF/Plasma

Pam Alwminiwm? Mae athreiddedd magnetig bron yn sero yn atal ystumio maes mewn ysgythrwyr/mewnblanwyr.

5. Cost vs. Optimeiddio Perfformiad

Astudiaeth Achos: Amnewid dur gwrthstaen wedi'i beiriannusiambrau gydag alwminiwmyn lleihau costau deunyddiau 40% ac amser peiriannu 35% (yn seiliedig ar feincnodau diwydiant 2024).

Ein Datrysiadau Alwminiwm ar gyfer Siambr Manwl

Cyrff a Chaeadau Siambr

Deunydd: Platiau Alwminiwm 5083/6061 (hyd at 150mm o drwch)

Proses: Peiriannu CNC sy'n gydnaws â gwactod gyda gorffeniad arwyneb Ra ≤ 0.8μm

Manylebau Allweddol: Triniaeth wres AMS 2772, profion uwchsonig 100%

Cydrannau Dosbarthu Nwy

Cynhyrchion: Tiwbiau alwminiwm manwl gywirdeb (OD 3mm-200mm) gyda micro-dyllau mewnol

Technoleg: Drilio twll dwfn (cymhareb L/D 30:1), electrosgleinio

Cefnogaethau Strwythurol a Chaewyr

Deunydd: Gwiail Alwminiwm 7075-T651 (cymhareb cryfder-i-bwysau uchel)

Cydymffurfiaeth: Safonau SEMI F72 ar gyfer rheoli nwyon allanol

Pam Partneru â Ni ar gyfer Eich Prosiect Siambr Lled-ddargludyddion?

1. Peiriannu Ystafell Lân Bwrpasol: Mae cyfleuster Dosbarth 1000 yn atal halogiad gronynnol.

2. Olrhain Deunyddiau: Adroddiadau profion melin ar gyferpob plât alwminiwm/gwialen/tiwb.

3. Gorffeniad wedi'i Optimeiddio ar gyfer Plasma: Goddefiad perchnogol ar gyfer ymwrthedd i gyrydiad.

4. Prototeipio Cyflym: amser arweiniol 15 diwrnod ar gyfer geometregau siambr cymhleth.