Prodhimi i gjysmëpërçuesve kërkon saktësi ekstreme, dhe dhoma - zemra e pajisjeve kritike si reaktorët CVD dhe makinat e gdhendjes - luan një rol kyç. Ky udhëzues eksploron bazat e projektimit të dhomës dhe se si lidhjet e aluminit me pastërti të lartë zgjidhin sfidat kryesore të industrisë.

5 Faktorë Kritikë që Ndikojnë në Performancën e Dhomës së Kamerës (Dhe Si Shkëlqen Alumini)

1. Përputhshmëria me vakum ultra të lartë (UHV) dhe parandalimi i rrjedhjeve

Problemi: Rrjedhjet mikroskopike dëmtojnë integritetin e procesit.

Avantazhi i aluminit:Trupa të përpunuara me CNC pa qepjenga shufrat e aluminit eliminohen pikat e saldimit. Aliazhi ynë 6061-T6 arrin shkallë rrjedhjeje heliumi < 10⁻⁹ mbar·L/sek.

2. Menaxhimi termik: Stabiliteti nën cikle ekstreme

Problemi: Shtrembërimi termik shkakton ndotje të grimcave.

Zgjidhja: Përçueshmëria termike superiore e aluminit (≈150 W/m·K) tejkalon atë të çelikut inox. Pllakat tona të aluminit të prodhuara me porosi integrojnë kanale ftohjeje për uniformitet ±0.5°C.

3. Rezistenca ndaj korrozionit të plazmës në mjedise të ashpra

Pika e të Dhënave: Alumini i anodizuar (trashësi 25μm+) i reziston ekspozimit ndaj plazmës CF₄/O₂ 10 herë më të gjatë krahasuar me sipërfaqet e patrajtuara.

4. Përshkueshmëria Magnetike: Integriteti i Procesit RF/Plazma

Pse alumin? Përshkueshmëria magnetike pothuajse zero parandalon shtrembërimin e fushës në gdhendës/implantues.

5. Kostoja kundrejt Optimizimit të Performancës

Studimi i rastit: Zëvendësimi i çelikut të çelikut të përpunuar me makinë.dhoma me aluminzvogëlon kostot e materialeve me 40% dhe kohën e përpunimit me 35% (bazuar në standardet e industrisë për vitin 2024).

Zgjidhjet tona prej alumini për dhoma precize

Trupat dhe Kapakët e Dhomës

Materiali: Pllaka alumini 5083/6061 (deri në 150 mm të trasha)

Procesi: Përpunim CNC i pajtueshëm me vakum me sipërfaqe Ra ≤ 0.8μm

Specifikimet kryesore: Trajtim termik AMS 2772, testim 100% me ultratinguj

Komponentët e Shpërndarjes së Gazit

Produkte: Tuba alumini precize (OD 3mm-200mm) me mikro-vrima të brendshme

Teknologjia: Shpim i vrimave të thella (raporti L/D 30:1), elektro-lëmim

Mbështetëse dhe elementë fiksues strukturorë

Materiali: Shufra alumini 7075-T651 (raport i lartë i forcës ndaj peshës)

Pajtueshmëria: Standardet SEMI F72 për kontrollin e nxjerrjes së gazrave

Pse të bashkëpunoni me ne për projektin tuaj të dhomës gjysmëpërçuese?

1. Përpunim i dedikuar për dhoma të pastra: Objekti i Klasit 1000 parandalon ndotjen nga grimcat.

2. Gjurmueshmëria e Materialit: Raportet e testeve të mullirit përçdo pllakë alumini/shufër/tub.

3. Përfundim i optimizuar për plazmë: Pasivizim i patentuar për rezistencë ndaj korrozionit.

4. Prototipim i Shpejtë: Kohë përgatitore 15-ditore për gjeometri komplekse të dhomave.