Výroba polovodičov si vyžaduje extrémnu presnosť a komora – srdce kritických zariadení, ako sú CVD reaktory a leptacie stroje – zohráva kľúčovú úlohu. Táto príručka skúma základy návrhu komory a to, ako vysoko čisté hliníkové zliatiny riešia kľúčové výzvy v priemysle.

5 kritických faktorov ovplyvňujúcich výkon komory (a ako hliník vyniká)

1. Kompatibilita s ultravysokým vákuom (UHV) a prevencia únikov

Problém: Mikroskopické netesnosti narúšajú integritu procesu.

Výhoda hliníka:Bezšvíkové CNC obrábané telesáz hliníkových predvalkov eliminujú zvarové miesta. Naša zliatina 6061-T6 dosahuje únik hélia < 10⁻⁹ mbar·L/s.

2. Tepelný manažment: Stabilita pri extrémnom cyklovaní

Problém: Tepelná deformácia spôsobuje kontamináciu časticami.

Riešenie: Vynikajúca tepelná vodivosť hliníka (≈150 W/m·K) prekonáva nehrdzavejúcu oceľ. Naše hliníkové dosky vyrobené na mieru majú integrované chladiace kanály pre rovnomernosť ±0,5 °C.

3. Odolnosť voči plazmovej korózii v náročných prostrediach

Dátový bod: Eloxovaný hliník (hrúbka 25 μm a viac) odoláva 10-krát dlhšiemu vystaveniu plazme CF₄/O₂ v porovnaní s neošetrenými povrchmi.

4. Magnetická permeabilita: Integrita RF/plazmového procesu

Prečo hliník? Takmer nulová magnetická permeabilita zabraňuje skresleniu poľa v leptačoch/implantátoch.

5. Optimalizácia nákladov verzus výkon

Prípadová štúdia: Výmena obrábanej nehrdzavejúcej ocelekomory s hliníkomznižuje náklady na materiál o 40 % a čas obrábania o 35 % (na základe priemyselných referenčných hodnôt z roku 2024).

Naše hliníkové riešenia pre presné komory

Telá a veká komôr

Materiál: Hliníkové plechy 5083/6061 (hrúbka do 150 mm)

Proces: CNC obrábanie kompatibilné s vákuom s povrchovou úpravou Ra ≤ 0,8 μm

Kľúčové špecifikácie: Tepelné spracovanie AMS 2772, 100 % ultrazvukové testovanie

Komponenty distribúcie plynu

Produkty: Presné hliníkové rúry (vonkajší priemer 3 mm – 200 mm) s vnútornými mikrootvormi

Technológia: Vŕtanie hlbokých otvorov (pomer L/D 30:1), elektrolytické leštenie

Konštrukčné podpery a upevňovacie prvky

Materiál: Hliníkové tyče 7075-T651 (vysoký pomer pevnosti k hmotnosti)

Súlad: Normy SEMI F72 pre kontrolu odplyňovania

Prečo si s nami spolupracovať pri vašom projekte polovodičovej komory?

1. Vyhradené obrábanie v čistých priestoroch: Zariadenie triedy 1000 zabraňuje kontaminácii časticami.

2. Sledovateľnosť materiálu: Skúšobné protokoly z mlynov prekaždý hliníkový plech/tyč/rúrka.

3. Povrchová úprava optimalizovaná plazmou: Patentovaná pasivácia pre odolnosť voči korózii.

4. Rýchle prototypovanie: 15-dňová dodacia lehota pre zložité geometrie komôr.