குறைக்கடத்தி அறைகளுக்கான இறுதி வழிகாட்டி: அலுமினியம் ஏன் தேர்வுப் பொருளாக உள்ளது

குறைக்கடத்தி உற்பத்திக்கு மிகுந்த துல்லியம் தேவைப்படுகிறது, மேலும் அறை - CVD உலைகள் மற்றும் பொறித்தல் இயந்திரங்கள் போன்ற முக்கியமான உபகரணங்களின் இதயம் - ஒரு முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது. இந்த வழிகாட்டி அறை வடிவமைப்பு அத்தியாவசியங்களையும், உயர்-தூய்மை அலுமினிய உலோகக் கலவைகள் முக்கிய தொழில்துறை சவால்களை எவ்வாறு தீர்க்கின்றன என்பதையும் ஆராய்கிறது.

அறை செயல்திறனை இயக்கும் 5 முக்கியமான காரணிகள் (மற்றும் அலுமினியம் எவ்வாறு சிறந்து விளங்குகிறது)

1. மிக உயர்ந்த வெற்றிட (UHV) இணக்கத்தன்மை & கசிவு தடுப்பு

சிக்கல்: நுண்ணிய கசிவுகள் செயல்முறை ஒருமைப்பாட்டை அழிக்கின்றன.

அலுமினிய நன்மை:தடையற்ற CNC-இயந்திர உடல்கள்அலுமினிய பில்லெட்டுகளிலிருந்து வெல்ட் புள்ளிகளை நீக்குகிறது. எங்கள் 6061-T6 அலாய் < 10⁻⁹ mbar·L/sec ஹீலியம் கசிவு விகிதங்களை அடைகிறது.

2. வெப்ப மேலாண்மை: தீவிர சைக்கிள் ஓட்டுதலின் கீழ் நிலைத்தன்மை

சிக்கல்: வெப்ப சிதைவு துகள் மாசுபாட்டை ஏற்படுத்துகிறது.

தீர்வு: அலுமினியத்தின் உயர்ந்த வெப்ப கடத்துத்திறன் (≈150 W/m·K) துருப்பிடிக்காத எஃகு விட சிறப்பாக செயல்படுகிறது. எங்கள் தனிப்பயன்-தயாரிக்கப்பட்ட அலுமினிய தகடுகள் ±0.5°C சீரான தன்மைக்கு குளிரூட்டும் சேனல்களை ஒருங்கிணைக்கின்றன.

3. கடுமையான சூழல்களில் பிளாஸ்மா அரிப்பு எதிர்ப்பு

தரவுப் புள்ளி: அனோடைஸ் செய்யப்பட்ட அலுமினியம் (25μm+ தடிமன்) சிகிச்சையளிக்கப்படாத மேற்பரப்புகளுடன் ஒப்பிடும்போது 10 மடங்கு நீண்ட CF₄/O₂ பிளாஸ்மா வெளிப்பாட்டைத் தாங்கும்.

4. காந்த ஊடுருவல்: RF/பிளாஸ்மா செயல்முறை ஒருமைப்பாடு

அலுமினியம் ஏன்? பூஜ்ஜியத்திற்கு அருகில் உள்ள காந்த ஊடுருவல் எட்சர்கள்/இம்பிளாண்டர்களில் புல சிதைவைத் தடுக்கிறது.

5. செலவு vs. செயல்திறன் உகப்பாக்கம்

ஆய்வு: இயந்திரமயமாக்கப்பட்ட துருப்பிடிக்காத எஃகு இயந்திரத்தை மாற்றுதல்அலுமினியம் கொண்ட அறைகள்பொருள் செலவுகளை 40% மற்றும் இயந்திர நேரத்தை 35% குறைக்கிறது (2024 தொழில்துறை அளவுகோல்களின் அடிப்படையில்).

துல்லிய அறைகளுக்கான எங்கள் அலுமினிய தீர்வுகள்

அறை உடல்கள் & மூடிகள்

பொருள்: 5083/6061 அலுமினிய தகடுகள் (150மிமீ வரை தடிமன்)

செயல்முறை: Ra ≤ 0.8μm மேற்பரப்பு பூச்சுடன் வெற்றிட-இணக்கமான CNC எந்திரம்

முக்கிய விவரக்குறிப்புகள்: AMS 2772 வெப்ப சிகிச்சை, 100% மீயொலி சோதனை

எரிவாயு விநியோக கூறுகள்

தயாரிப்புகள்: துல்லியமான அலுமினிய குழாய்கள் (OD 3mm-200mm) உள் நுண் துளைகளுடன்

தொழில்நுட்பம்: ஆழமான துளை துளைத்தல் (எல்/டி விகிதம் 30:1), எலக்ட்ரோபாலிஷிங்

கட்டமைப்பு ஆதரவுகள் & ஃபாஸ்டென்சர்கள்

பொருள்: 7075-T651 அலுமினிய கம்பிகள் (அதிக வலிமை-எடை விகிதம்)

இணக்கம்: வாயு வெளியேற்றக் கட்டுப்பாட்டுக்கான SEMI F72 தரநிலைகள்

உங்கள் குறைக்கடத்தி அறை திட்டத்திற்கு எங்களுடன் ஏன் கூட்டு சேர வேண்டும்?