Çêkirina nîvconductor rastbûnek pir zêde dixwaze, û ode - dilê alavên krîtîk ên wekî reaktorên CVD û makîneyên gravurkirinê - roleke girîng dilîze. Ev rêber bingehên sêwirana odeyê û ka çawa alloyên aluminumê yên paqijiya bilind pirsgirêkên sereke yên pîşesaziyê çareser dikin vedikole.

5 Faktorên Krîtîk ên ku Performansa Odeya Amadekariyê Dikin (Û Çawa Aluminium Serdikeve)

1. Lihevhatina Valahiya Ultra-Bilind (UHV) û Pêşîlêgirtina Derketinê

Pirsgirêk: Derketinên mîkroskopîk yekparebûna pêvajoyê xera dikin.

Awantajên Aluminumê:Laşên bêderz ên bi makîneya CNC hatine çêkirinji perçeyên alumînyûmê xalên kaynakirinê ji holê radikin. Aloya me ya 6061-T6 rêjeyên rijandina helyûmê yên < 10⁻⁹ mbar·L/sec bi dest dixe.

2. Rêveberiya Germahî: Aramiya di bin Çerxên Zêde de

Pirsgirêk: Çermbûna germî dibe sedema gemarbûna perçeyan.

Çareserî: Performansa germî ya bilind a alumînyûmê (≈150 W/m·K) ji pola zengarnegir çêtir e. Plaqeyên alumînyûmê yên me yên bi taybetî hatine çêkirin kanalên sarkirinê ji bo yekrengiya ±0.5°C vedihewînin.

3. Berxwedana Korozyona Plazmayê di Jîngehên Dijwar de

Xala Daneyan: Alumînyûma anodîzekirî (stûriya 25μm+) li gorî rûberên bê dermankirin 10 caran dirêjtir li ber plazmaya CF₄/O₂ li ber xwe dide.

4. Permeabilîteya Magnetîk: Yekparçeyiya Pêvajoya RF/Plazmayê

Çima Aluminium? Permeabilîteya magnetîkî ya nêzîkî sifir rê li ber xirabûna qadê di gravur/împlanteran de digire.

5. Mesref li hember Optimîzasyona Performansê

Lêkolîna Dozê: Guhertina polayê zengarnegir ê makînekirîodeyên bi aluminiumêlêçûnên materyalan %40 û dema makînekirinê %35 kêm dike (li gorî pîvanên pîşesaziyê yên 2024).

Çareseriyên me yên Aluminiumê ji bo Odeyên Rastîn

Laş û Qapaxên Odeya

Materyal: Plaqeyên Aluminumê yên 5083/6061 (heta 150 mm stûr)

Pêvajo: Makîneya CNC-ya bi vakum-hevhatî bi qedandina rûyê Ra ≤ 0.8μm

Taybetmendiyên sereke: Dermankirina germê ya AMS 2772, ceribandina ultrasonîk a 100%

Pêkhateyên Belavkirina Gazê

Berhem: Lûleyên alumînyûmê yên rastîn (OD 3mm-200mm) bi mîkro-borên navxweyî

Teknîk: Kolandina qulên kûr (rêjeya L/D 30:1), elektropolîşkirin

Piştgiriyên Avahiyê û Girêdan

Materyal: Çîpên Aluminiumê yên 7075-T651 (rêjeya hêz-bi-giranî bilind)

Lihevhatin: Standardên SEMI F72 ji bo kontrola derxistina gazê

Çima ji bo Projeya Odeya Nîvconductor a Xwe bi me re bibin hevkar?

1. Makînekirina Odeya Paqij a Taybet: Tesîsa Sınıfa 1000 pêşî li gemarbûna perçeyan digire.

2. Şopandina Materyalê: Raporên ceribandina mîlkirinê ji boher plakaya alumînyûmê/çîp/lûle.

3. Dawîkirina Plazma-Çêtirîn: Pasîvasyona taybet ji bo berxwedana korozyonê.

4. Prototîpkirina Bilez: Dema amadekirinê ya 15 rojan ji bo geometrîyên odeyên tevlihev.