Proizvodnja poluprovodnika zahtijeva ekstremnu preciznost, a komora - srce kritične opreme poput CVD reaktora i mašina za nagrizanje - igra ključnu ulogu. Ovaj vodič istražuje osnove dizajna komore i kako legure aluminija visoke čistoće rješavaju ključne izazove u industriji.

5 kritičnih faktora koji utiču na performanse komore (i kako aluminijum briljira)

1. Kompatibilnost s ultra visokim vakuumom (UHV) i sprječavanje curenja

Problem: Mikroskopska curenja uništavaju integritet procesa.

Prednost aluminija:Bešavna CNC obrađena tijelaiz aluminijskih gredica eliminiraju se tačke zavarivanja. Naša legura 6061-T6 postiže brzinu curenja helija < 10⁻⁹ mbar·L/sec.

2. Upravljanje temperaturom: Stabilnost pri ekstremnim ciklusima

Problem: Termičko savijanje uzrokuje kontaminaciju česticama.

Rješenje: Aluminij ima superiornu toplinsku provodljivost (≈150 W/m·K) koja nadmašuje nehrđajući čelik. Naše aluminijske ploče izrađene po narudžbi imaju ugrađene kanale za hlađenje za ujednačenost od ±0,5°C.

3. Otpornost na plazma koroziju u teškim okruženjima

Podaci: Anodizirani aluminij (debljine 25μm+) podnosi 10 puta duže izlaganje CF₄/O₂ plazmi u odnosu na netretirane površine.

4. Magnetna permeabilnost: Integritet RF/plazma procesa

Zašto aluminij? Magnetna permeabilnost gotovo nulte vrijednosti sprječava izobličenje polja u uređajima za nagrizanje/implantaciju.

5. Optimizacija troškova u odnosu na performanse

Studija slučaja: Zamjena obrađenog nehrđajućeg čelikakomore s aluminijemsmanjuje troškove materijala za 40% i vrijeme obrade za 35% (na osnovu industrijskih referentnih vrijednosti iz 2024. godine).

Naša aluminijska rješenja za precizne komore

Tijela i poklopci komora

Materijal: Aluminijske ploče 5083/6061 (debljine do 150 mm)

Proces: CNC obrada kompatibilna s vakuumom s površinskom završnom obradom Ra ≤ 0,8 μm

Ključne specifikacije: AMS 2772 termička obrada, 100% ultrazvučno ispitivanje

Komponente za distribuciju plina

Proizvodi: Precizne aluminijske cijevi (spoljni promjer 3 mm - 200 mm) s unutrašnjim mikro-provrtima

Tehnologija: Bušenje dubokih rupa (omjer L/D 30:1), elektropoliranje

Strukturni nosači i pričvršćivači

Materijal: Aluminijske šipke 7075-T651 (visok omjer čvrstoće i težine)

Usklađenost: SEMI F72 standardi za kontrolu ispuštanja gasova

Zašto biste trebali surađivati ​​s nama za vaš projekt poluprovodničke komore?

1. Namjenska obrada u čistim sobama: Postrojenje klase 1000 sprječava kontaminaciju česticama.

2. Sljedivost materijala: Izvještaji o ispitivanju mlinova zasvaka aluminijska ploča/šipka/cijev.

3. Završna obrada optimizirana plazmom: Vlasnička pasivizacija za otpornost na koroziju.

4. Brza izrada prototipa: Rok isporuke od 15 dana za složene geometrije komora.