Puolijohteiden valmistus vaatii äärimmäistä tarkkuutta, ja kammiolla – kriittisten laitteiden, kuten CVD-reaktoreiden ja etsauskoneiden, sydämellä – on keskeinen rooli. Tässä oppaassa tarkastellaan kammiosuunnittelun olennaisia ​​asioita ja sitä, miten erittäin puhtaat alumiiniseokset ratkaisevat alan keskeisiä haasteita.

5 kriittistä tekijää, jotka vaikuttavat kammion suorituskykyyn (ja miten alumiini loistaa)

1. Yhteensopivuus erittäin korkean tyhjiön (UHV) kanssa ja vuotojen ehkäisy

Ongelma: Mikroskooppiset vuodot pilaavat prosessin eheyden.

Alumiinin etu:Saumattomat CNC-koneistetut rungotalumiinitankojen hitsauspisteet poistuvat. 6061-T6-seoksemme saavuttaa < 10⁻⁹ mbar·L/s heliumin vuotonopeudet.

2. Lämmönhallinta: Vakaus äärimmäisessä pyöräilyssä

Ongelma: Lämpökäyrän aiheuttama vääntyminen aiheuttaa hiukkaskontaminaation.

Ratkaisu: Alumiinin lämmönjohtavuus (≈150 W/m·K) on parempi kuin ruostumattomalla teräksellä. Mittatilaustyönä valmistetuissa alumiinilevyissämme on jäähdytyskanavat, jotka takaavat ±0,5 °C:n tasaisuuden.

3. Plasmakorroosionkestävyys vaativissa ympäristöissä

Datapiste: Anodisoitu alumiini (paksuus yli 25 μm) kestää 10 kertaa pidemmän CF₄/O₂-plasma-altistuksen verrattuna käsittelemättömiin pintoihin.

4. Magneettinen läpäisevyys: RF/plasmaprosessin eheys

Miksi alumiini? Lähes olematon magneettinen permeabiliteetti estää kentän vääristymiä etsaus-/implantointilaitteissa.

5. Kustannusten ja suorituskyvyn optimointi

Case-tutkimus: Koneistetun ruostumattoman teräksen korvaaminenalumiinilla varustetut kammiotvähentää materiaalikustannuksia 40 % ja työstöaikaa 35 % (perustuu vuoden 2024 alan vertailuarvoihin).

Alumiiniratkaisumme tarkkuuskammioihin

Kammiorungot ja kannet

Materiaali: 5083/6061 alumiinilevyt (paksuus jopa 150 mm)

Prosessi: Tyhjiöyhteensopiva CNC-työstö, jonka pinnankarheus Ra ≤ 0,8 μm

Tärkeimmät tiedot: AMS 2772 -lämpökäsittely, 100 % ultraäänitestaus

Kaasunjakelun komponentit

Tuotteet: Tarkkuusalumiiniputket (ulkohalkaisija 3–200 mm) sisäisillä mikrorei'illä

Tekniikka: Syvän reiän poraus (pituus-syvyyssuhde 30:1), sähkökiillotus

Rakennetuet ja kiinnikkeet

Materiaali: 7075-T651 alumiinitangot (korkea lujuus-painosuhde)

Vaatimustenmukaisuus: SEMI F72 -standardit kaasunpoiston hallinnan osalta

Miksi valita meidät kumppaniksi puolijohdekammioprojektissasi?

1. Puhdastilan koneistus: Luokan 1000 laitos estää hiukkaskontaminaation.

2. Materiaalin jäljitettävyys: Tehtaan testiraportitjokainen alumiinilevy/tanko/putki.

3. Plasmaoptimoitu viimeistely: Patentoitu passivointi korroosionkestävyyden parantamiseksi.

4. Nopea prototyyppien valmistus: 15 päivän toimitusaika monimutkaisille kammiogeometrioille.