Ang paghimo sa semiconductor nanginahanglan labi ka tukma, ug ang chamber — ang kasingkasing sa mga kritikal nga kagamitan sama sa mga reaktor sa CVD ug mga makina sa pagkulit — adunay hinungdanon nga papel. Gisusi niini nga giya ang mga kinahanglanon sa disenyo sa chamber ug kung giunsa pagsulbad sa high-purity aluminum alloys ang nag-unang mga hagit sa industriya.

5 Mga Kritikal nga Kahinungdanon sa Pagmaneho sa Chamber Performance (Ug Giunsa ang Aluminum Excels)

1. Ultra-High Vacuum (UHV) Compatibility & Leak Prevention

Problema: Ang mikroskopiko nga pagtulo makaguba sa integridad sa proseso.

Aluminum Bentaha:Seamless nga CNC-machined nga mga lawasgikan sa aluminum billet wagtangon weld puntos. Ang among 6061-T6 nga alloy nakab-ot <10⁻⁹ mbar·L/sec helium leak rates.

2. Thermal Management: Stability Under Extreme Cycling

Problema: Ang thermal warping hinungdan sa kontaminasyon sa partikulo.

Solusyon: Ang labing maayo nga thermal conductivity sa aluminyo (≈150 W/m·K) milabaw sa stainless steel. Ang among custom-fabricated aluminum plates nag-integrate sa cooling channels alang sa ±0.5°C uniformity.

3. Plasma Corrosion Resistance sa Harsh Environment

Punto sa Data: Anodized aluminum (25μm+ gibag-on) makasugakod sa 10x mas taas nga CF₄/O₂ pagkaladlad sa plasma kumpara sa wala matambalan nga mga ibabaw.

4. Magnetic Permeability: RF / Plasma Process Integrity

Nganong Aluminum? Ang hapit-zero nga magnetic permeability nagpugong sa pagtuis sa uma sa mga etcher/implanter.

5. Gasto kumpara sa Performance Optimization

Pagtuon sa Kaso: Pag-ilis sa makina nga stainlessmga lawak nga adunay aluminummakunhuran ang gasto sa materyal sa 40% ug oras sa pag-machining sa 35% (base sa 2024 nga mga benchmark sa industriya).

Ang Among Mga Solusyon sa Aluminum para sa mga Chamber nga Precision

Mga Lawas ug Taklob sa Chamber

Materyal: 5083/6061 Aluminum Plate (hangtod sa 150mm ang gibag-on)

Proseso: Vacuum-compatible nga CNC machining nga adunay Ra ≤ 0.8μm surface finish

Key Specs: AMS 2772 heat treatment, 100% ultrasonic testing

Mga sangkap sa Pag-apod-apod sa Gas

Mga produkto: Tukma nga aluminum tubes (OD 3mm-200mm) nga adunay internal nga micro-bores

Tech: Deep-hole drilling (L/D ratio 30:1), electropolishing

Mga Pagsuporta sa Istruktura ug Mga Pag-fasten

Materyal: 7075-T651 Aluminum Rods (taas nga kusog-sa-timbang nga ratio)

Pagsunod: SEMI F72 nga mga sumbanan alang sa outgassing control

Ngano nga makig-uban Kanato alang sa imong Semiconductor Chamber Project?

1. Dedicated Cleanroom Machining: Class 1000 nga pasilidad nagpugong sa kontaminasyon sa particulate.

2. Materyal nga Traceability: Mill test reports alang samatag aluminum plate/rod/tubo.

3. Plasma-Optimized Finishing: Proprietary passivation alang sa corrosion resistance.

4. Rapid Prototyping: 15 ka adlaw nga lead time alang sa komplikadong chamber geometries.