Fabrikado de duonkonduktaĵoj postulas ekstreman precizecon, kaj la ĉambro — la koro de kritika ekipaĵo kiel CVD-reaktoroj kaj gravuraj maŝinoj — ludas pivotan rolon. Ĉi tiu gvidilo esploras la esencajn elementojn de ĉambrodezajno kaj kiel altpurecaj aluminiaj alojoj solvas ŝlosilajn industriajn defiojn.

5 Kritikaj Faktoroj, Kiuj Stiras la Rendimenton de la Ĉambro (Kaj Kiel Aluminio Elstaras)

1. Kongrueco kun Ultra-Alta Vakuo (UHV) kaj Preventado de Likoj

Problemo: Mikroskopaj likoj ruinigas la integrecon de la procezo.

Aluminia Avantaĝo:Senjuntaj CNC-maŝinitaj korpojel aluminioblokoj forigas veldpunktojn. Nia alojo 6061-T6 atingas heliumajn likkvotojn < 10⁻⁹ mbar·L/sek.

2. Termika Administrado: Stabileco Sub Ekstrema Ciklado

Problemo: Termika varpigado kaŭzas partiklan poluadon.

Solvo: La supera varmokondukteco de aluminio (≈150 W/m·K) superas neoksideblan ŝtalon. Niaj speciale fabrikitaj aluminiaj platoj integras malvarmigajn kanalojn por homogeneco de ±0,5°C.

3. Plasma Koroda Rezisto en Severaj Medioj

Datumpunkto: Anodigita aluminio (25μm+ dikeco) eltenas 10-oble pli longan CF₄/O₂-plasman eksponiĝon kompare kun netraktitaj surfacoj.

4. Magneta Permebleco: RF/Plasma Proceza Integreco

Kial aluminio? Preskaŭ nula magneta permeablo malhelpas kampodistordon en gravurantoj/enplantantoj.

5. Kosto kontraŭ Optimigo de Rendimento

Kazesploro: Anstataŭigo de maŝinprilaborita rustorezista ŝtaloĉambroj kun aluminioreduktas materialajn kostojn je 40% kaj maŝinadtempon je 35% (bazite sur industriaj komparnormoj de 2024).

Niaj Aluminiaj Solvoj por Precizaj Ĉambroj

Ĉambraj Korpoj kaj Kovriloj

Materialo: 5083/6061 Aluminiaj Platoj (ĝis 150mm dikaj)

Procezo: Vakuo-kongrua CNC-maŝinado kun Ra ≤ 0.8μm surfaca finpoluro

Ĉefaj Specifoj: AMS 2772 varmotraktado, 100% ultrasona testado

Komponantoj de Gasdistribuo

Produktoj: Precizaj aluminiaj tuboj (OD 3mm-200mm) kun internaj mikro-boraĵoj

Teknologio: Profunda truoborado (L/D-proporcio 30:1), elektropolurado

Strukturaj Subtenoj kaj Fiksiloj

Materialo: 7075-T651 Aluminiaj Stangoj (alta forto-pezo-rilatumo)

Konformeco: SEMI F72 normoj por kontrolo de elgasado

Kial Kunlabori Kun Ni por Via Projekto de Duonkondukta Kamero?

1. Dediĉita Purĉambra Maŝinado: Klaso 1000 instalaĵo malhelpas partiklan poluadon.

2. Materiala Spurebleco: Muelejaj testaj raportoj porĉiu aluminioplato/bastono/tubo.

3. Plasmo-Optimumigita Finpolurado: Proprieta pasivigo por korodrezisto.

4. Rapida Prototipado: 15-taga antaŭtempa tempo por kompleksaj kameraj geometrioj.