Hegeliederproduksje freget ekstreme presyzje, en de keamer - it hert fan krityske apparatuer lykas CVD-reaktors en etsmasines - spilet in wichtige rol. Dizze hantlieding ûndersiket de essensjele aspekten fan keamerûntwerp en hoe't aluminiumlegeringen mei hege suverens wichtige útdagings yn 'e yndustry oplosse.

5 Krityske faktoaren dy't de prestaasjes fan 'e keamer oandriuwe (en hoe't aluminium útblinkt)

1. Ultra-hege fakuüm (UHV) kompatibiliteit en lekprevinsje

Probleem: Mikroskopyske lekken ferneatigje prosesintegriteit.

Foardiel fan aluminium:Naadleaze CNC-bearbeitte lichemsfan aluminium billets eliminearje laspunten. Us 6061-T6 legearing berikt heliumleksnelheden fan < 10⁻⁹ mbar·L/sek.

2. Termysk behear: Stabiliteit ûnder ekstreme syklussen

Probleem: Termyske ferfoarming feroarsaket dieltsjefersmoarging.

Oplossing: De superieure termyske geliedingsfermogen fan aluminium (≈150 W/m·K) presteart better as roestfrij stiel. Us op maat makke aluminiumplaten yntegrearje koelkanalen foar ±0,5 °C uniformiteit.

3. Plasmakorrosjebestriding yn rûge omjouwings

Datapunt: Anodisearre aluminium (25μm+ dikte) is bestand tsjin 10 kear langere CF₄/O₂-plasma-eksposysje yn ferliking mei net-behannele oerflakken.

4. Magnetyske permeabiliteit: RF/Plasma-prosesintegriteit

Wêrom aluminium? Magnetyske permeabiliteit fan hast nul foarkomt fjildferfoarming yn etsers/ymplantators.

5. Kosten vs. Prestaasjeoptimalisaasje

Case Study: Ferfanging fan masjinearre roestfrij stielkeamers mei aluminiumferminderet materiaalkosten mei 40% en ferwurkingstiid mei 35% (basearre op yndustrybenchmarks fan 2024).

Us aluminiumoplossingen foar presyzjekeamers

Keamerlichems en deksels

Materiaal: 5083/6061 Aluminiumplaten (oant 150 mm dik)

Proses: Vacuüm-kompatibele CNC-ferwurking mei Ra ≤ 0.8μm oerflakfinish

Wichtige spesifikaasjes: AMS 2772 waarmtebehanneling, 100% ultrasone testen

Gasdistribúsjekomponinten

Produkten: Presyzje aluminium buizen (OD 3mm-200mm) mei ynterne mikro-boaringen

Technyk: Djippe gatboarjen (L/D-ferhâlding 30:1), elektropolearjen

Strukturele stipen en befestigingen

Materiaal: 7075-T651 Aluminiumstangen (hege sterkte-gewichtferhâlding)

Neilibjen: SEMI F72 noarmen foar útgaskontrôle

Wêrom mei ús gearwurkje foar jo projekt foar healgeleiderkeamer?

1. Spesjale skjinnekeamerferwurking: Klasse 1000-foarsjenning foarkomt fersmoarging mei dieltsjes.

2. Traceerberens fan materiaal: Testrapporten fan mûnen foarelke aluminium plaat/stang/buis.

3. Plasma-optimalisearre ôfwerking: Proprietêre passivaasje foar korrosjebestriding.

4. Rapid Prototyping: 15-dagen levertiid foar komplekse keamergeometrieën.