Ko te hanga Semiconductor e hiahia ana kia tino tika, me te ruuma — te ngakau o nga taputapu whakahirahira penei i nga reactors CVD me nga miihini tarai - he mahi nui. Ka torotoro tenei aratohu i nga mea nui mo te hoahoa rūma me te pehea o nga koranu konumohe tino parakore ki te whakaoti i nga wero o te umanga.

5 nga mea tino nui e kawe ana i nga mahi a te ruuma (me pehea te pai o te konumohe)

1. Te Hototahitanga Ultra-High Vacuum (UHV) me te Taraka Leak

Raruraru: Ka pakaru te marumaru moroiti i te tika o te tukanga.

Painga Aluminium:Ko nga tinana miihini CNC ngawarimai i nga pire konumohe ka whakakore i nga tohu weld. Ko ta tatou koranu 6061-T6 ka eke ki te <10⁻⁹ mbar·L/sec te reiti rerenga helium.

2. Whakahaere Weariki: Pumautanga i raro i te Paihikara Tino

Raruraru: Na te werawera ka pangia te matūriki.

Rongoā: Ko te pai o te kawe wera o te Aluminium (≈150 W/m·K) he pai ake i te kowiri tira. Ko o maatau papaa konumohe kua hangaia he whakauru i nga waahana whakamahana mo te ± 0.5°C te rite.

3. Te Whakaaetanga Waihanga Plasma i nga Taiao Kino

Ira Raraunga: Ko te konumohe anodized (25μm+ te matotoru) ka mau ki te 10x te roa ake o te whakaaturanga plasma CF₄/O₂ me nga papa kaore i mahia.

4. Whakaaetanga Aukume: RF / Plasma Tukanga Tikanga

He aha te Aluminium? Ko te uruhanga autō tata-kore ka aukati i te korikoritanga o te mara i roto i nga etchers/implants.

5. Utu vs. Arotautanga Mahinga

Akoranga Take: Whakakapi i te miihini miihininga ruma me te konumoheka whakaitihia nga utu rauemi ma te 40% me te wa mahi miihini ma te 35% (i runga i nga tohu tohu ahumahi 2024).

Ko o Tatou Rongoa Konumohe mo nga Whare Tika

Nga Tinana me nga Tapoi

Rauemi: 5083/6061 Pereti Aluminium (tae atu ki te 150mm te matotoru)

Tukanga: Korehau-hototahi CNC machining ki Ra ≤ 0.8μm mutu mata

Nga Tohu Matua: AMS 2772 maimoatanga wera, 100% whakamatautau ultrasonic

Wae Toha Hau

Nga Hua: Ko nga ngongo konumohe tino tika (OD 3mm-200mm) me nga moroiti o roto

Hangarau: Te keri poka-hohonu (L/D ratio 30:1), electropolishing

Tautoko Hanganga me nga Kaitito

Rauemi: 7075-T651 Nga Pouaka Konumohe (te kaha-ki-te-taimaha teitei)

Tautukunga: Ko nga paerewa SEMI F72 mo te whakahaere hauhau

He aha te mahi tahi me matou mo to kaupapa ruma semiconductor?

1. Te Mahinga Whare Maamaa: Ko te akomanga 1000 ka aukati i te poke matūriki.

2. Rauemi Aroturuki: Nga purongo whakamatautau mira moia pereti konumohe/rod/ngongo.

3. Plasma-Arotau Whakamutunga: Whakaaetanga rangatira mo te aukati waikura.

4. Te Whakatauira Tere: 15-ra te wa arahi mo nga hangahanga ruma matatini.