सेमीकंडक्टर चैंबर्स के लिए अंतिम गाइड: एल्युमीनियम क्यों पसंदीदा सामग्री है

सेमीकंडक्टर निर्माण में अत्यधिक सटीकता की आवश्यकता होती है, और चैम्बर - CVD रिएक्टर और नक्काशी मशीनों जैसे महत्वपूर्ण उपकरणों का हृदय - एक महत्वपूर्ण भूमिका निभाता है। यह मार्गदर्शिका चैम्बर डिज़ाइन की अनिवार्यताओं और उच्च शुद्धता वाले एल्यूमीनियम मिश्र धातुओं द्वारा उद्योग की प्रमुख चुनौतियों को हल करने के तरीके की खोज करती है।

चैंबर के प्रदर्शन को प्रभावित करने वाले 5 महत्वपूर्ण कारक (और एल्युमीनियम कैसे उत्कृष्ट है)

1. अल्ट्रा-हाई वैक्यूम (UHV) संगतता और रिसाव की रोकथाम

समस्या: सूक्ष्म रिसाव प्रक्रिया की अखंडता को नष्ट कर देता है।

एल्युमिनियम लाभ:निर्बाध सीएनसी मशीनी निकायएल्युमिनियम बिलेट्स से वेल्ड पॉइंट्स को खत्म किया जाता है। हमारा 6061-T6 मिश्र धातु < 10⁻⁹ mbar·L/sec हीलियम रिसाव दर प्राप्त करता है।

2. थर्मल प्रबंधन: अत्यधिक साइकिलिंग के तहत स्थिरता

समस्या: तापीय विरूपण के कारण कण संदूषण होता है।

समाधान: एल्युमिनियम की बेहतर तापीय चालकता (≈150 W/m·K) स्टेनलेस स्टील से बेहतर है। हमारी कस्टम-फैब्रिकेटेड एल्युमिनियम प्लेटें ±0.5°C एकरूपता के लिए कूलिंग चैनल एकीकृत करती हैं।

3. कठोर वातावरण में प्लाज्मा संक्षारण प्रतिरोध

डेटा बिंदु: एनोडाइज्ड एल्यूमीनियम (25μm+ मोटाई) अनुपचारित सतहों की तुलना में CF₄/O₂ प्लाज्मा एक्सपोजर को 10 गुना अधिक समय तक झेल सकता है।

4. चुंबकीय पारगम्यता: आरएफ/प्लाज्मा प्रक्रिया अखंडता

एल्युमिनियम ही क्यों? लगभग शून्य चुंबकीय पारगम्यता एचर्स/इम्प्लांटर्स में क्षेत्र विरूपण को रोकती है।

5. लागत बनाम प्रदर्शन अनुकूलन

केस स्टडी: मशीन से बने स्टेनलेस स्टील को बदलनाएल्युमिनियम युक्त कक्षसामग्री लागत में 40% और मशीनिंग समय में 35% की कमी आती है (2024 उद्योग बेंचमार्क के आधार पर)।

प्रेसिजन चैम्बर्स के लिए हमारे एल्युमीनियम समाधान

चैम्बर बॉडीज और ढक्कन

सामग्री: 5083/6061 एल्युमिनियम प्लेट्स (150 मिमी तक मोटी)

प्रक्रिया: Ra ≤ 0.8μm सतह परिष्करण के साथ वैक्यूम-संगत CNC मशीनिंग

मुख्य विशेषताएं: AMS 2772 ताप उपचार, 100% अल्ट्रासोनिक परीक्षण

गैस वितरण घटक

उत्पाद: आंतरिक माइक्रो-बोर के साथ सटीक एल्यूमीनियम ट्यूब (ओडी 3 मिमी-200 मिमी)

तकनीक: गहरे छेद वाली ड्रिलिंग (एल/डी अनुपात 30:1), इलेक्ट्रोपॉलिशिंग

संरचनात्मक समर्थन और फास्टनर

सामग्री: 7075-T651 एल्युमीनियम रॉड (उच्च शक्ति-से-वजन अनुपात)

अनुपालन: आउटगैसिंग नियंत्रण के लिए SEMI F72 मानक

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