الدليل الشامل لغرف أشباه الموصلات: لماذا يُعد الألومنيوم المادة المفضلة

يتطلب تصنيع أشباه الموصلات دقةً فائقة، وتلعب حجرة المعالجة - قلب المعدات الحيوية مثل مفاعلات الترسيب الكيميائي للبخار وآلات الحفر - دورًا محوريًا في هذا المجال. يستكشف هذا الدليل أساسيات تصميم حجرة المعالجة، وكيف تُسهم سبائك الألومنيوم عالية النقاء في حل تحديات الصناعة الرئيسية.

5 عوامل حاسمة تؤثر على أداء الغرفة (وكيف يتفوق الألومنيوم)

1. التوافق مع الفراغ العالي جدًا (UHV) ومنع التسرب

المشكلة: التسريبات المجهرية تدمر سلامة العملية.

ميزة الألومنيوم:أجسام مصنعة باستخدام الحاسب الآلي بدون لحاماتمن سبائك الألومنيوم، يتم التخلص من نقاط اللحام. يحقق سبيكة 6061-T6 لدينا معدلات تسرب هيليوم أقل من 10⁻⁹ مليبار·لتر/ثانية.

2. الإدارة الحرارية: الاستقرار في ظل الدورات المتطرفة

المشكلة: التشويه الحراري يسبب تلوث الجسيمات.

الحل: يتفوق الألومنيوم على الفولاذ المقاوم للصدأ بفضل موصليته الحرارية الفائقة (≈150 واط/متر·كلفن). ألواح الألومنيوم المُصنّعة خصيصًا لدينا مُدمجة بقنوات تبريد لضمان تجانس درجة الحرارة عند ±0.5 درجة مئوية.

3. مقاومة التآكل البلازمي في البيئات القاسية

نقطة البيانات: يتحمل الألومنيوم المؤكسد (سمك 25 ميكرومتر +) التعرض للبلازما CF₄/O₂ لمدة أطول بمقدار 10 مرات مقارنة بالأسطح غير المعالجة.

4. النفاذية المغناطيسية: سلامة عملية التردد اللاسلكي/البلازما

لماذا الألومنيوم؟ نفاذية مغناطيسية شبه منعدمة تمنع تشوه المجال في أدوات الحفر/الغرس.

5. التكلفة مقابل تحسين الأداء

دراسة حالة: استبدال الفولاذ المقاوم للصدأ المجهزغرف مع الألومنيوميقلل تكاليف المواد بنسبة 40% ووقت التصنيع بنسبة 35% (بناءً على معايير الصناعة لعام 2024).

حلولنا المصنوعة من الألومنيوم للغرف الدقيقة

أجسام وأغطية الغرف

المواد: ألواح ألومنيوم 5083/6061 (سمكها يصل إلى 150 مم)

العملية: تصنيع CNC متوافق مع الفراغ مع سطح تشطيب Ra ≤ 0.8 ميكرومتر

المواصفات الرئيسية: معالجة حرارية AMS 2772، اختبار بالموجات فوق الصوتية بنسبة 100%

مكونات توزيع الغاز

المنتجات: أنابيب ألومنيوم دقيقة (قطر خارجي 3 مم - 200 مم) بفتحات دقيقة داخلية

التقنية: حفر حفرة عميقة (نسبة L/D 30:1)، التلميع الكهربائي

الدعامات والمثبتات الهيكلية

المواد: قضبان ألومنيوم 7075-T651 (نسبة عالية من القوة إلى الوزن)

الامتثال: معايير SEMI F72 للتحكم في انبعاث الغازات

لماذا الشراكة معنا في مشروع غرفة أشباه الموصلات الخاص بك؟