Вытворчасць паўправаднікоў патрабуе надзвычайнай дакладнасці, і камера — сэрца крытычна важнага абсталявання, такога як рэактары CVD і машыны для травлення — адыгрывае ключавую ролю. У гэтым кіраўніцтве разглядаюцца асновы канструкцыі камер і тое, як высакаякасныя алюмініевыя сплавы вырашаюць ключавыя праблемы прамысловасці.

5 крытычных фактараў, якія ўплываюць на прадукцыйнасць камеры (і чым алюміній адрозніваецца)

1. Сумяшчальнасць з ультравысокім вакуумам (UHV) і прадухіленне ўцечак

Праблема: Мікраскапічныя ўцечкі парушаюць цэласнасць працэсу.

Перавага алюмінію:Бясшвовыя карпусы, апрацаваныя на станках з ЧПУз алюмініевых нарыхтовак выключаюць кропкі зваркі. Наш сплаў 6061-T6 дасягае хуткасці ўцечкі гелія < 10⁻⁹ мбар·л/с.

2. Тэрмаўпарадкаванне: стабільнасць пры экстрэмальных цыклічных нагрузках

Праблема: Цеплавая дэфармацыя выклікае забруджванне часціцамі.

Рашэнне: Высокая цеплаправоднасць алюмінію (≈150 Вт/м·К) пераўзыходзіць нержавеючую сталь. Нашы вырабленыя на заказ алюмініевыя пласціны маюць ахаладжальныя каналы для аднастайнасці ±0,5°C.

3. Устойлівасць да плазменнай карозіі ў суровых умовах

Дадзеныя: Анадаваны алюміній (таўшчынёй больш за 25 мкм) вытрымлівае ў 10 разоў большае ўздзеянне плазмы CF₄/O₂ у параўнанні з неапрацаванымі паверхнямі.

4. Магнітная пранікальнасць: цэласнасць працэсу радыёчастотнага/плазменнага ўздзеяння

Чаму алюміній? Магнітная пранікальнасць амаль да нуля прадухіляе скажэнне поля ў травільных/імплантацыйных прыладах.

5. Аптымізацыя выдаткаў і прадукцыйнасці

Тэматычнае даследаванне: Замена апрацаванай нержавеючай сталікамеры з алюмініемзніжае выдаткі на матэрыялы на 40% і час апрацоўкі на 35% (на аснове галіновых паказчыкаў 2024 года).

Нашы алюмініевыя рашэнні для дакладных камер

Корпусы і вечкі камер

Матэрыял: алюмініевыя пласціны 5083/6061 (таўшчынёй да 150 мм)

Працэс: вакуумная апрацоўка на станку з ЧПУ з паверхняй Ra ≤ 0,8 мкм

Асноўныя характарыстыкі: тэрмічная апрацоўка AMS 2772, 100% ультрагукавое выпрабаванне

Кампаненты размеркавання газу

Прадукцыя: алюмініевыя трубы высокай дакладнасці (знешні дыяметр 3-200 мм) з унутранымі мікраадтулінамі

Тэхналогія: Глыбокае свідраванне (суадносіны L/D 30:1), электрапаліроўка

Структурныя апоры і крапежныя элементы

Матэрыял: алюмініевыя стрыжні 7075-T651 (высокае суадносіны трываласці да вагі)

Адпаведнасць: стандарты SEMI F72 для кантролю дэгазацыі

Чаму варта звярнуцца да нас у партнёрстве па праекце паўправадніковай камеры?

1. Спецыяльная апрацоўка ў чыстых памяшканнях: аб'ект класа 1000 прадухіляе забруджванне часціцамі.

2. Адсочванне матэрыялаў: справаздачы аб выпрабаваннях фабрыккожная алюмініевая пласціна/стрыжань/трубка.

3. Плазменна-аптымізаваная апрацоўка: запатэнтаваная пасівацыя для каразійнай стойкасці.

4. Хуткае прататыпаванне: 15-дзённы тэрмін выканання для камер са складанай геаметрыяй.