Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэл нь туйлын нарийвчлал шаарддаг бөгөөд CVD реактор, сийлбэрийн машин зэрэг чухал тоног төхөөрөмжийн зүрх болсон камер нь гол үүрэг гүйцэтгэдэг. Энэхүү гарын авлага нь танхимын дизайны нэн шаардлагатай зүйлс болон өндөр цэвэршилттэй хөнгөн цагааны хайлш нь үйлдвэрлэлийн гол сорилтуудыг хэрхэн шийдвэрлэх талаар судлах болно.

Жолооны танхимын гүйцэтгэлийн 5 чухал хүчин зүйл (мөн хөнгөн цагаан хэрхэн төгс ажилладаг)

1. Хэт өндөр вакуум (UHV) нийцтэй байдал ба гоожихоос урьдчилан сэргийлэх

Асуудал: Микроскопоор гоожих нь процессын бүрэн бүтэн байдлыг алдагдуулдаг.

Хөнгөн цагааны давуу тал:CNC машинд хийсэн үл үзэгдэх их биехөнгөн цагаан бэлдэцээс гагнуурын цэгүүдийг арилгадаг. Манай 6061-T6 хайлш нь < 10⁻⁹ мбар·Л/сек гелий алдалтын хурдыг хангадаг.

2. Дулааны менежмент: Хэт их дугуйн дахь тогтвортой байдал

Асуудал: Дулааны гажуудал нь бөөмийн бохирдол үүсгэдэг.

Шийдэл: Хөнгөн цагааны өндөр дулаан дамжилтын илтгэлцүүр (≈150 Вт/м·К) нь зэвэрдэггүй гангаас илүү байдаг. Манай захиалгаар үйлдвэрлэсэн хөнгөн цагаан хавтангууд нь хөргөлтийн сувгуудыг ± 0.5 ° C-ийн жигд байдалд нэгтгэдэг.

3. Хүчтэй орчинд плазмын зэврэлтэнд тэсвэртэй байдал

Өгөгдлийн цэг: Аноджуулсан хөнгөн цагаан (25μм+ зузаан) нь боловсруулаагүй гадаргуутай харьцуулахад CF₄/O₂ плазмын өртөлтийг 10 дахин удаан тэсвэрлэдэг.

4. Соронзон нэвчилт: RF/плазмын процессын бүрэн бүтэн байдал

Яагаад хөнгөн цагаан гэж? Бараг тэгтэй тэнцэх соронзон нэвчилт нь зүлгүүр/суулгагч дахь талбайн гажуудал үүсэхээс сэргийлдэг.

5. Зардал ба гүйцэтгэлийн оновчлол

Кейс судалгаа: Зэвэрдэггүй машиныг солиххөнгөн цагаан бүхий танхимуудматериалын зардлыг 40%, боловсруулах хугацааг 35% (2024 оны салбарын жишигт үндэслэн) бууруулдаг.

Нарийвчлалын танхимд зориулсан манай хөнгөн цагааны шийдэл

Танхимын бие ба таг

Материал: 5083/6061 Хөнгөн цагаан хавтан (150мм хүртэл зузаантай)

Процесс: Ra ≤ 0.8μm гадаргуугийн өнгөлгөө бүхий вакуумд нийцсэн CNC боловсруулах

Үндсэн үзүүлэлтүүд: AMS 2772 дулааны боловсруулалт, 100% хэт авианы туршилт

Хийн түгээлтийн бүрэлдэхүүн хэсгүүд

Бүтээгдэхүүн: Нарийн хөнгөн цагаан хоолой (OD 3мм-200мм) дотоод бичил нүхтэй

Техник: Гүний цооног өрөмдөх (L/D харьцаа 30:1), цахилгаан өнгөлгөө

Бүтцийн тулгуур ба бэхэлгээ

Материал: 7075-T651 Хөнгөн цагаан саваа (өндөр хүч, жингийн харьцаа)

Тохиромжтой байдал: Хийн гадагшлуулах хяналтын SEMI F72 стандарт

Хагас дамжуулагч танхимын төсөлдөө яагаад бидэнтэй хамтран ажиллах ёстой вэ?

1. Цэвэр өрөөний зориулалтын боловсруулалт: 1000-р ангиллын байгууламж нь тоосонцор бохирдохоос сэргийлдэг.

2. Материалын ул мөр: Тээрмийн туршилтын тайланхөнгөн цагаан хавтан бүр/саваа/хоолой.

3. Плазмын оновчтой өнгөлгөө: Зэврэлтэнд тэсвэртэй болгох өмчийн идэвхгүйжүүлэх.

4. Rapid Prototyping: Нарийн төвөгтэй камерын геометрийн 15 хоногийн хугацаа.