अर्धचालक चेम्बरहरूको लागि अन्तिम मार्गनिर्देशन: किन एल्युमिनियम रोजाइको सामग्री हो

अर्धचालक उत्पादनले अत्यधिक परिशुद्धताको माग गर्दछ, र चेम्बर - CVD रिएक्टरहरू र एचिंग मेसिनहरू जस्ता महत्वपूर्ण उपकरणहरूको मुटु - ले महत्त्वपूर्ण भूमिका खेल्छ। यो गाइडले चेम्बर डिजाइनको आवश्यक कुराहरू र उच्च-शुद्धता भएको एल्युमिनियम मिश्र धातुहरूले प्रमुख उद्योग चुनौतीहरू कसरी समाधान गर्छन् भनेर अन्वेषण गर्दछ।

चेम्बरको कार्यसम्पादनलाई चलाउने ५ महत्वपूर्ण कारकहरू (र एल्युमिनियम कसरी उत्कृष्ट हुन्छ)

१. अल्ट्रा-हाई भ्याकुम (UHV) अनुकूलता र चुहावट रोकथाम

समस्या: सूक्ष्म चुहावटले प्रक्रियाको अखण्डतालाई बिगार्छ।

एल्युमिनियमको फाइदा:सिमलेस सीएनसी-मेशिन गरिएको शरीरहरूएल्युमिनियम बिलेटबाट वेल्ड बिन्दुहरू हटाउँछन्। हाम्रो 6061-T6 मिश्र धातुले < 10⁻⁹ mbar·L/sec हेलियम चुहावट दर प्राप्त गर्दछ।

२. थर्मल व्यवस्थापन: चरम साइकल चलाउँदा स्थिरता

समस्या: थर्मल वार्पिङले कण प्रदूषण निम्त्याउँछ।

समाधान: एल्युमिनियमको उत्कृष्ट थर्मल चालकता (≈१५० W/m·K) ले स्टेनलेस स्टीललाई राम्रो प्रदर्शन गर्छ। हाम्रा अनुकूलित-निर्मित एल्युमिनियम प्लेटहरूले ±०.५°C एकरूपताको लागि शीतलन च्यानलहरूलाई एकीकृत गर्छन्।

३. कठोर वातावरणमा प्लाज्मा जंग प्रतिरोध

डेटा पोइन्ट: एनोडाइज्ड एल्युमिनियम (२५μm+ मोटाई) ले उपचार नगरिएका सतहहरूको तुलनामा १० गुणा लामो CF₄/O₂ प्लाज्मा एक्सपोजर सहन सक्छ।

४. चुम्बकीय पारगम्यता: आरएफ/प्लाज्मा प्रक्रिया अखण्डता

एल्युमिनियम किन? लगभग शून्य चुम्बकीय पारगम्यताले इचर/इम्प्लान्टरहरूमा क्षेत्र विकृतिलाई रोक्छ।

५. लागत बनाम कार्यसम्पादन अनुकूलन

केस स्टडी: मेसिन गरिएको स्टेनलेस प्रतिस्थापनआल्मुनियम भएका कोठाहरूसामग्री लागत ४०% र मेसिनिङ समय ३५% ले घटाउँछ (२०२४ उद्योग बेन्चमार्कहरूमा आधारित)।

प्रेसिजन चेम्बरहरूको लागि हाम्रो एल्युमिनियम समाधानहरू

चेम्बर बडी र ढक्कनहरू

सामग्री: ५०८३/६०६१ एल्युमिनियम प्लेटहरू (१५० मिमी बाक्लो सम्म)

प्रक्रिया: रा ≤ ०.८μm सतह फिनिशको साथ भ्याकुम-कम्प्याटिबल सीएनसी मेसिनिङ

मुख्य विशेषताहरू: AMS २७७२ ताप उपचार, १००% अल्ट्रासोनिक परीक्षण

ग्यास वितरण कम्पोनेन्टहरू