Halvledartillverkning kräver extrem precision, och kammaren – hjärtat i kritisk utrustning som CVD-reaktorer och etsmaskiner – spelar en avgörande roll. Den här guiden utforskar kammarens grunder och hur högrena aluminiumlegeringar löser viktiga utmaningar inom branschen.

5 kritiska faktorer som driver kammarens prestanda (och hur aluminium utmärker sig)

1. Kompatibilitet med ultrahögt vakuum (UHV) och läckageförebyggande åtgärder

Problem: Mikroskopiska läckor förstör processens integritet.

Aluminiumfördel:Sömlösa CNC-frästa karosserfrån aluminiumbillets eliminerar svetspunkter. Vår 6061-T6-legering uppnår heliumläckage på < 10⁻⁹ mbar·L/s.

2. Termisk hantering: Stabilitet under extrema cykler

Problem: Termisk skevhet orsakar partikelkontaminering.

Lösning: Aluminiums överlägsna värmeledningsförmåga (≈150 W/m·K) överträffar rostfritt stål. Våra specialtillverkade aluminiumplattor integrerar kylkanaler för ±0,5 °C jämnhet.

3. Plasmakorrosionsbeständighet i tuffa miljöer

Datapunkt: Anodiserad aluminium (25 μm+ tjocklek) tål 10 gånger längre CF₄/O₂-plasmaexponering jämfört med obehandlade ytor.

4. Magnetisk permeabilitet: RF/Plasmaprocessintegritet

Varför aluminium? Nära noll magnetisk permeabilitet förhindrar fältförvrängning i etsare/implantatmaskiner.

5. Kostnad kontra prestandaoptimering

Fallstudie: Byte av maskinbearbetat rostfritt stålkammare med aluminiumminskar materialkostnaderna med 40 % och bearbetningstiden med 35 % (baserat på branschstandarder från 2024).

Våra aluminiumlösningar för precisionskammare

Kammarkroppar och lock

Material: 5083/6061 aluminiumplattor (upp till 150 mm tjocka)

Process: Vakuumkompatibel CNC-bearbetning med Ra ≤ 0,8 μm ytfinish

Viktiga specifikationer: AMS 2772 värmebehandling, 100 % ultraljudstestning

Gasdistributionskomponenter

Produkter: Precisionsrör i aluminium (ytterdiameter 3 mm–200 mm) med invändiga mikroborrningar

Teknik: Djuphålsborrning (L/D-förhållande 30:1), elektropolering

Strukturella stöd och fästelement

Material: 7075-T651 aluminiumstänger (högt hållfasthets-viktförhållande)

Överensstämmelse: SEMI F72-standarder för kontroll av utgasning

Varför samarbeta med oss ​​för ditt projekt inom halvledarkammare?

1. Dedikerad renrumsbearbetning: Anläggning i klass 1000 förhindrar partikelkontaminering.

2. Materialspårbarhet: Testrapporter för kvarnenvarje aluminiumplatta/stav/rör.

3. Plasmaoptimerad ytbehandling: Egenutvecklad passivering för korrosionsbeständighet.

4. Snabb prototypframställning: 15 dagars ledtid för komplexa kammargeometrier.