Pooljuhtide tootmine nõuab äärmist täpsust ja kamber – kriitiliste seadmete, näiteks CVD-reaktorite ja söövitusmasinate süda – mängib selles võtmerolli. See juhend uurib kambrite disaini põhialuseid ja seda, kuidas kõrge puhtusastmega alumiiniumisulamid lahendavad peamisi tööstusharu väljakutseid.

5 kriitilist tegurit, mis mõjutavad kambri jõudlust (ja kuidas alumiinium silma paistab)

1. Ülikõrge vaakumi (UHV) ühilduvus ja lekete vältimine

Probleem: Mikroskoopilised lekked rikuvad protsessi terviklikkust.

Alumiiniumi eelis:Õmblusteta CNC-töödeldud korpusedAlumiiniumtoorikutest keevituskohad puuduvad. Meie 6061-T6 sulam saavutab heeliumi lekkekiiruse < 10⁻⁹ mbar·L/sek.

2. Soojusjuhtimine: stabiilsus ekstreemse jalgrattasõidu ajal

Probleem: Termiline deformatsioon põhjustab osakeste saastumist.

Lahendus: Alumiiniumi parem soojusjuhtivus (≈150 W/m·K) ületab roostevaba terase oma. Meie eritellimusel valmistatud alumiiniumplaatidesse on integreeritud jahutuskanalid, mis tagavad ±0,5 °C ühtluse.

3. Plasmakorrosioonikindlus karmides keskkondades

Andmepunkt: Anodeeritud alumiinium (paksus 25 μm+) talub 10 korda pikemat CF₄/O₂ plasma kokkupuudet võrreldes töötlemata pindadega.

4. Magnetiline läbilaskvus: raadiosageduse/plasma protsessi terviklikkus

Miks alumiinium? Peaaegu nullilähedane magnetiline läbitavus hoiab ära söövitusseadmetes/implantaatorites välja moonutused.

5. Kulude ja jõudluse optimeerimine

Juhtumiuuring: freesitud roostevaba terase asendaminealumiiniumist kambridvähendab materjalikulusid 40% ja töötlemisaega 35% (põhineb 2024. aasta tööstusharu võrdlusalustel).

Meie alumiiniumlahendused täppiskambrite jaoks

Kambrikorpused ja kaaned

Materjal: 5083/6061 alumiiniumplaadid (paksusega kuni 150 mm)

Protsess: Vaakumühilduv CNC-töötlus pinnaviimistlusega Ra ≤ 0,8 μm

Peamised tehnilised andmed: AMS 2772 kuumtöötlus, 100% ultraheli testimine

Gaasi jaotuskomponendid

Tooted: Täppisalumiiniumist torud (välisläbimõõt 3–200 mm) sisemiste mikroavadega

Tehnika: Sügava augu puurimine (L/D suhe 30:1), elektropoleerimine

Konstruktsioonitoed ja kinnitusdetailid

Materjal: 7075-T651 alumiiniumvardad (kõrge tugevuse ja kaalu suhe)

Vastavus: SEMI F72 standardid gaaside eraldumise kontrollimiseks

Miks valida oma pooljuhtide kambri projekti jaoks just meie partnerlus?

1. Spetsiaalne puhasruumi töötlemine: 1000. klassi rajatis hoiab ära osakeste saastumise.

2. Materjali jälgitavus: veski katsearuandediga alumiiniumplaat/varras/toru.

3. Plasma-optimeeritud viimistlus: patenteeritud passivatsioon korrosioonikindluse tagamiseks.

4. Kiire prototüüpimine: keerukate kambrigeomeetriate puhul on tarneaeg 15 päeva.