D'Hallefleiterproduktioun erfuerdert extrem Präzisioun, an d'Kammer - d'Häerz vu kriteschen Ausrüstung wéi CVD-Reaktoren an Ätzmaschinnen - spillt eng zentral Roll. Dëse Guide ënnersicht d'Grondlage vum Kammerdesign a wéi héichreine Aluminiumlegierungen wichteg Erausfuerderungen an der Industrie léisen.

5 kritesch Faktoren, déi d'Leeschtung vun der Kammer beaflossen (a wéi Aluminium sech auszeechnet)

1. Ultra-héich Vakuum (UHV) Kompatibilitéit & Leckverhënnerung

Problem: Mikroskopesch Lecke ruinéieren d'Integritéit vum Prozess.

Aluminium Virdeel:Nahtlos CNC-fräigestallte Kierperaus Aluminium-Billets eliminéiert Schweißpunkten. Eis 6061-T6 Legierung erreecht Helium-Leckageraten vun < 10⁻⁹ mbar·L/sec.

2. Thermesch Gestioun: Stabilitéit ënner extremen Zyklen

Problem: Thermesch Verzerrung verursaacht Partikelkontaminatioun.

Léisung: Déi iwwerleeën Wärmeleitfäegkeet vun Aluminium (≈150 W/m·K) ass besser wéi Edelstol. Eis personaliséiert Aluminiumplacken integréieren Ofkillkanäl fir eng Uniformitéit vun ±0,5°C.

3. Plasmakorrosiounsbeständegkeet an haarden Ëmfeld

Datepunkt: Eloxéierten Aluminium (25μm+ Déckt) hält enger 10x méi laanger CF₄/O₂ Plasmabelaaschtung stand am Verglach mat onbehandelten Uewerflächen.

4. Magnéitesch Permeabilitéit: RF/Plasma Prozessintegritéit

Firwat Aluminium? Bal Null Magnéitpermeabilitéit verhënnert Feldverzerrung an Ätz-/Implantatoren.

5. Käschte vs. Leeschtungsoptimiséierung

Fallstudie: Ersatz vun maschinéiertem EdelstahlKammeren mat Aluminiumreduzéiert d'Materialkäschten ëm 40% an d'Bearbechtungszäit ëm 35% (baséiert op den Industriebenchmarks vun 2024).

Eis Aluminiumléisunge fir Präzisiounskammeren

Kammerkierper & Deckel

Material: 5083/6061 Aluminiumplacken (bis zu 150 mm déck)

Prozess: Vakuumkompatibel CNC-Bearbeitung mat Ra ≤ 0,8μm Uewerflächenfinish

Schlëssel Spezifikatioune: AMS 2772 Hëtztbehandlung, 100% Ultraschalltest

Komponenten fir Gasverdeelung

Produkter: Präzisiounsaluminiumréier (AU 3mm-200mm) mat internen Mikrobohrungen

Technologie: Déiflächerbuerung (L/D-Verhältnis 30:1), Elektropoléieren

Strukturell Ënnerstëtzungen a Befestigungen

Material: 7075-T651 Aluminiumstangen (héicht Verhältnes tëscht Festigkeit a Gewiicht)

Konformitéit: SEMI F72 Normen fir d'Kontroll vun der Ausgasung

Firwat sollt Dir mat eis fir Äert Projet an der Hallefleiterkammer zesummeschaffen?

1. Spezialiséiert Bearbeitung fir propper Raim: D'Anlag vun der Klass 1000 verhënnert Partikelkontaminatioun.

2. Materialverfolgbarkeet: Millentestberichter firall Aluminiumplack/Staang/Röhr.

3. Plasmaoptimiséiert Veraarbechtung: Proprietär Passivéierung fir Korrosiounsbeständegkeet.

4. Rapid Prototyping: 15-Deeg Liwwerzäit fir komplex Kammergeometrien.