Sản xuất chất bán dẫn đòi hỏi độ chính xác cực cao và buồng - trái tim của các thiết bị quan trọng như lò phản ứng CVD và máy khắc - đóng vai trò then chốt. Hướng dẫn này khám phá những điều cần thiết trong thiết kế buồng và cách hợp kim nhôm có độ tinh khiết cao giải quyết những thách thức chính của ngành.

5 yếu tố quan trọng thúc đẩy hiệu suất buồng (và nhôm vượt trội như thế nào)

1. Khả năng tương thích với chân không cực cao (UHV) và phòng ngừa rò rỉ

Vấn đề: Rò rỉ ở mức độ vi mô làm hỏng tính toàn vẹn của quy trình.

Ưu điểm của nhôm:Thân máy gia công CNC liền mạchtừ phôi nhôm loại bỏ các điểm hàn. Hợp kim 6061-T6 của chúng tôi đạt được tỷ lệ rò rỉ heli < 10⁻⁹ mbar·L/giây.

2. Quản lý nhiệt: Độ ổn định trong chu kỳ khắc nghiệt

Vấn đề: Sự cong vênh do nhiệt gây ra ô nhiễm hạt.

Giải pháp: Độ dẫn nhiệt vượt trội của nhôm (≈150 W/m·K) vượt trội hơn thép không gỉ. Các tấm nhôm chế tạo riêng của chúng tôi tích hợp các kênh làm mát để đạt độ đồng đều ±0,5°C.

3. Khả năng chống ăn mòn Plasma trong môi trường khắc nghiệt

Điểm dữ liệu: Nhôm anodized (độ dày 25μm+) chịu được tiếp xúc với plasma CF₄/O₂ lâu hơn 10 lần so với bề mặt chưa được xử lý.

4. Độ thấm từ: Tính toàn vẹn của quy trình RF/Plasma

Tại sao lại là nhôm? Độ từ thẩm gần bằng không giúp ngăn ngừa biến dạng từ trường trong máy khắc/máy cấy.

5. Tối ưu hóa chi phí so với hiệu suất

Nghiên cứu tình huống: Thay thế thép không gỉ gia côngbuồng với nhômgiảm 40% chi phí vật liệu và 35% thời gian gia công (dựa trên tiêu chuẩn ngành năm 2024).

Giải pháp nhôm của chúng tôi cho buồng chính xác

Thân và nắp buồng

Vật liệu: Tấm nhôm 5083/6061 (dày tới 150mm)

Quy trình: Gia công CNC tương thích chân không với bề mặt hoàn thiện Ra ≤ 0,8μm

Thông số kỹ thuật chính: Xử lý nhiệt AMS 2772, thử nghiệm siêu âm 100%

Linh kiện phân phối khí

Sản phẩm: Ống nhôm chính xác (OD 3mm-200mm) có lỗ khoan siêu nhỏ bên trong

Công nghệ: Khoan lỗ sâu (tỷ lệ L/D 30:1), đánh bóng điện

Hỗ trợ kết cấu & Chốt

Vật liệu: Thanh nhôm 7075-T651 (tỷ lệ độ bền trên trọng lượng cao)

Tuân thủ: Tiêu chuẩn SEMI F72 để kiểm soát khí thải

Tại sao nên hợp tác với chúng tôi cho dự án phòng bán dẫn của bạn?

1. Gia công trong phòng sạch chuyên dụng: Cơ sở đạt chuẩn Class 1000 ngăn ngừa ô nhiễm dạng hạt.

2. Khả năng truy xuất nguồn gốc vật liệu: Báo cáo thử nghiệm nhà máy chomỗi tấm nhôm/thanh/ống.

3. Hoàn thiện tối ưu bằng Plasma: Công nghệ thụ động độc quyền giúp chống ăn mòn.

4. Tạo mẫu nhanh: Thời gian hoàn thiện 15 ngày cho hình dạng buồng phức tạp.