Yarı iletken üretimi aşırı hassasiyet gerektirir ve CVD reaktörleri ve aşındırma makineleri gibi kritik ekipmanların kalbi olan hazne, önemli bir rol oynar. Bu kılavuz, hazne tasarımının temellerini ve yüksek saflıktaki alüminyum alaşımlarının temel endüstri zorluklarını nasıl çözdüğünü inceler.

Oda Performansını Etkileyen 5 Kritik Faktör (Ve Alüminyumun Üstünlüğü)

1. Ultra Yüksek Vakum (UHV) Uyumluluğu ve Sızıntı Önleme

Sorun: Mikroskobik sızıntılar proses bütünlüğünü bozar.

Alüminyum Avantajı:Kusursuz CNC işlenmiş gövdeleralüminyum külçelerden kaynak noktalarını ortadan kaldırır. 6061-T6 alaşımımız < 10⁻⁹ mbar·L/sn helyum sızıntı oranlarına ulaşır.

2. Isı Yönetimi: Aşırı Döngü Altında Stabilite

Sorun: Isıl eğilme parçacık kirliliğine neden olur.

Çözüm: Alüminyumun üstün termal iletkenliği (≈150 W/m·K) paslanmaz çeliği geride bırakır. Özel olarak üretilen alüminyum plakalarımız ±0,5°C'lik homojenlik için soğutma kanallarını entegre eder.

3. Zorlu Ortamlarda Plazma Korozyon Direnci

Veri Noktası: Eloksallı alüminyum (25 μm+ kalınlık), işlenmemiş yüzeylere kıyasla 10 kat daha uzun süre CF₄/O₂ plazma maruziyetine dayanır.

4. Manyetik Geçirgenlik: RF/Plazma İşlem Bütünlüğü

Neden Alüminyum? Sıfıra yakın manyetik geçirgenlik, asitleyicilerde/implanterlerde alan bozulmasını önler.

5. Maliyet ve Performans Optimizasyonu

Vaka Çalışması: İşlenmiş paslanmaz çeliklerin değiştirilmesialüminyumlu odalarMalzeme maliyetlerini %40, işleme süresini ise %35 oranında azaltır (2024 yılı sektör kıyaslamalarına göre).

Hassas Odalar için Alüminyum Çözümlerimiz

Oda Gövdeleri ve Kapakları

Malzeme: 5083/6061 Alüminyum Levhalar (150 mm kalınlığa kadar)

İşlem: Ra ≤ 0,8μm yüzey kalitesine sahip vakum uyumlu CNC işleme

Temel Özellikler: AMS 2772 ısıl işlem, %100 ultrasonik test

Gaz Dağıtım Bileşenleri

Ürünler: Dahili mikro deliklere sahip hassas alüminyum borular (OD 3mm-200mm)

Teknik: Derin delik delme (L/D oranı 30:1), elektro-parlatma

Yapısal Destekler ve Bağlantı Elemanları

Malzeme: 7075-T651 Alüminyum Çubuklar (yüksek mukavemet-ağırlık oranı)

Uyumluluk: Gaz salınımı kontrolü için SEMI F72 standartları

Yarıiletken Odası Projeniz İçin Neden Bizimle Ortak Olmalısınız?

1. Özel Temiz Oda İşleme: Sınıf 1000 tesisi partikül kontaminasyonunu önler.

2. Malzeme İzlenebilirliği: Değirmen test raporlarıher alüminyum levha/çubuk/tüp.

3. Plazma-Optimize Edilmiş Son İşlem: Korozyon direnci için özel pasifleştirme.

4. Hızlı Prototipleme: Karmaşık oda geometrileri için 15 günlük üretim süresi.