Կիսահաղորդչային արտադրությունը պահանջում է ծայրահեղ ճշգրտություն, և խցիկը՝ կարևորագույն սարքավորումների սիրտը, ինչպիսիք են CVD ռեակտորները և փորագրման մեքենաները, խաղում է կարևոր դեր: Այս ուղեցույցը ուսումնասիրում է խցիկի նախագծման հիմունքները և թե ինչպես են բարձր մաքրության ալյումինե համաձուլվածքները լուծում արդյունաբերության հիմնական մարտահրավերները:

5 կարևոր գործոններ, որոնք ազդում են խցիկի աշխատանքի վրա (և թե ինչպես է ալյումինը գերազանցում)

1. Գերբարձր վակուումի (UHV) համատեղելիություն և արտահոսքի կանխարգելում

Խնդիր. Միկրոսկոպիկ արտահոսքերը խաթարում են գործընթացի ամբողջականությունը։

Ալյումինի առավելությունը.Անխափան CNC մեքենայով մշակված մարմիններԱլյումինե կտորներից վերացվում են եռակցման կետերը: Մեր 6061-T6 համաձուլվածքը հասնում է < 10⁻⁹ մբ·լ/վրկ հելիումի արտահոսքի արագության:

2. Ջերմային կառավարում. Կայունություն ծայրահեղ ցիկլիկ պայմաններում

Խնդիր. Ջերմային ծռումը մասնիկների աղտոտում է առաջացնում։

Լուծում. Ալյումինի բարձր ջերմահաղորդականությունը (≈150 Վտ/մ·Կ) գերազանցում է չժանգոտվող պողպատին: Մեր հատուկ պատրաստված ալյումինե թիթեղները ներառում են սառեցման ալիքներ՝ ապահովելով ±0.5°C միատարրություն:

3. Պլազմային կոռոզիայի դիմադրություն կոշտ միջավայրերում

Տվյալների կետ. Անոդացված ալյումինը (25 մկմ+ հաստություն) դիմանում է CF₄/O₂ պլազմային ազդեցությանը 10 անգամ ավելի երկար՝ չմշակված մակերեսների համեմատ:

4. Մագնիսական թափանցելիություն. Ռադիոհաճախականության/պլազմային պրոցեսի ամբողջականություն

Ինչո՞ւ ալյումին։ Գրեթե զրոյական մագնիսական թափանցելիությունը կանխում է դաշտի աղավաղումը փորագրող սարքերում/իմպլանտատորներում։

5. Արժեքն ընդդեմ կատարողականի օպտիմալացման

Ուսումնասիրության դեպք. Մեքենայացված չժանգոտվող պողպատի փոխարինումալյումինե խցիկներնվազեցնում է նյութերի արժեքը 40%-ով և մեքենայական մշակման ժամանակը 35%-ով (հիմնված 2024 թվականի արդյունաբերության չափանիշների վրա):

Մեր ալյումինե լուծումները ճշգրիտ խցիկների համար

Խցիկի մարմիններ և կափարիչներ

Նյութ՝ 5083/6061 ալյումինե թիթեղներ (մինչև 150 մմ հաստությամբ)

Գործընթաց՝ վակուումային համատեղելի CNC մշակում Ra ≤ 0.8μm մակերեսային մշակումով

Հիմնական տեխնիկական բնութագրեր՝ AMS 2772 ջերմային մշակում, 100% ուլտրաձայնային փորձարկում

Գազի բաշխման բաղադրիչներ

Արտադրանք՝ Ճշգրիտ ալյումինե խողովակներ (OD 3մմ-200մմ) ներքին միկրոանցքերով

Տեխնոլոգիա՝ խորը անցքերի հորատում (L/D հարաբերակցություն 30:1), էլեկտրոլուսավորում

Կառուցվածքային հենարաններ և ամրակներ

Նյութ՝ 7075-T651 ալյումինե ձողեր (բարձր ամրության և քաշի հարաբերակցությամբ)

Համապատասխանություն. SEMI F72 ստանդարտներ արտանետումների կառավարման համար

Ինչո՞ւ համագործակցել մեզ հետ ձեր կիսահաղորդչային խցիկի նախագծի համար։

1. Մաքուր սենյակի համար նախատեսված մեխանիկական մշակում. 1000 դասի կենտրոնը կանխում է մասնիկային աղտոտումը:

2. Նյութի հետագծելիություն. Աղացների փորձարկման հաշվետվություններյուրաքանչյուր ալյումինե թիթեղ/ձող/խողովակ։

3. Պլազմային օպտիմալացված մշակում. Սեփական պասիվացում կոռոզիոն դիմադրության համար:

4. Արագ նախատիպավորում. բարդ խցիկների երկրաչափության համար 15 օրվա նախապատրաստման ժամկետ։