Ang pagmamanupaktura ng semiconductor ay nangangailangan ng matinding katumpakan, at ang silid—ang puso ng mga kritikal na kagamitan tulad ng mga CVD reactor at etching machine—ay gumaganap ng isang mahalagang papel. Tinutuklas ng gabay na ito ang mga mahahalagang disenyo ng silid at kung paano nilulutas ng mga high-purity na aluminyo na haluang metal ang mga pangunahing hamon sa industriya.

5 Mga Kritikal na Salik sa Pagmamaneho ng Kamara sa Pagganap (At Kung Paano Ang Aluminum Excels)

1. Ultra-High Vacuum (UHV) Compatibility at Pag-iwas sa Leak

Problema: Ang mga microscopic leaks ay sumisira sa integridad ng proseso.

Kalamangan ng aluminyo:Seamless na CNC-machined na katawanmula sa aluminum billet ay nag-aalis ng mga weld point. Ang aming 6061-T6 alloy ay nakakamit ng < 10⁻⁹ mbar·L/sec na helium leak rate.

2. Thermal Management: Stability Under Extreme Cycling

Problema: Ang thermal warping ay nagdudulot ng kontaminasyon ng particle.

Solusyon: Ang superyor na thermal conductivity ng aluminyo (≈150 W/m·K) ay higit sa hindi kinakalawang na asero. Ang aming custom-fabricated na aluminum plate ay nagsasama ng mga cooling channel para sa ±0.5°C na pagkakapareho.

3. Plasma Corrosion Resistance sa Malupit na Kapaligiran

Punto ng Data: Ang anodized na aluminyo (25μm+ na kapal) ay lumalaban ng 10x na mas mahabang pagkakalantad sa plasma ng CF₄/O₂ kumpara sa mga hindi ginagamot na ibabaw.

4. Magnetic Permeability: RF/Plasma Process Integrity

Bakit Aluminum? Pinipigilan ng malapit-zero magnetic permeability ang pagbaluktot ng field sa mga etcher/implanter.

5. Cost vs. Performance Optimization

Pag-aaral ng Kaso: Pinapalitan ang machined stainlessmga silid na may aluminyobinabawasan ng 40% ang mga gastos sa materyal at 35% ang oras ng machining (batay sa mga benchmark ng industriya noong 2024).

Ang Aming Aluminum Solutions para sa Precision Chambers

Mga Katawan ng Kamara at Takip

Material: 5083/6061 Aluminum Plate (hanggang 150mm ang kapal)

Proseso: Vacuum-compatible na CNC machining na may Ra ≤ 0.8μm surface finish

Pangunahing Detalye: AMS 2772 heat treatment, 100% ultrasonic testing

Mga Bahagi ng Pamamahagi ng Gas

Mga Produkto: Precision aluminum tubes (OD 3mm-200mm) na may panloob na micro-bores

Tech: Deep-hole drilling (L/D ratio 30:1), electropolishing

Mga Structural Support & Fasteners

Material: 7075-T651 Aluminum Rods (high strength-to-weight ratio)

Pagsunod: Mga pamantayan ng SEMI F72 para sa outgassing control

Bakit Namin Kasosyo para sa Iyong Semiconductor Chamber Project?

1. Dedicated Cleanroom Machining: Pinipigilan ng pasilidad ng Class 1000 ang kontaminasyon ng particulate.

2. Materyal Traceability: Mill test ulat para sabawat aluminum plate/rod/tube.

3. Plasma-Optimized Finishing: Proprietary passivation para sa corrosion resistance.

4. Rapid Prototyping: 15-araw na lead time para sa mga kumplikadong geometries ng silid.