Manufaktur semikonduktor nungtut precision ekstrim, sarta chamber-jantung parabot kritis kawas reaktor CVD jeung mesin etching-maén peran pivotal. Pituduh ieu ngajalajah hal-hal anu penting pikeun desain kamar sareng kumaha alloy aluminium anu murni ngarengsekeun tantangan industri utama.

5 Faktor Kritis Ngadorong Kinerja Kamar (Sareng Kumaha Aluminium Excels)

1. Ultra-High vakum (UHV) kasaluyuan & Nyegah bocor

Masalah: Bocor mikroskopis ngarusak integritas prosés.

Keunggulan Aluminium:Seamless awak CNC-mesinti billet aluminium ngaleungitkeun titik weld. Paduan 6061-T6 kami ngahontal <10⁻⁹ mbar·L/sec laju bocor hélium.

2. Manajemén termal: Stabilitas Dina Ngabuburit ekstrim

Masalah: Warping termal ngabalukarkeun kontaminasi partikel.

Solusi: konduktivitas termal unggul aluminium urang (≈150 W / m · K) outperforms stainless steel. pelat aluminium custom-fabricated kami ngahijikeun saluran cooling pikeun ± 0,5 ° C uniformity.

3. Résistansi Korosi Plasma dina Lingkungan Kasar

Data Point: Anodized aluminium (25μm + ketebalan) tahan 10x panjang CF₄ / O₂ paparan plasma vs surfaces untreated.

4. perméabilitas magnét: RF / Plasma Prosés Integritas

Naha Aluminium? Deukeut-enol perméabilitas magnét nyegah distorsi médan di etchers / implanters.

5. Biaya vs Optimasi Performance

Studi kasus: Ngaganti stainless steelkamar kalawan aluminiumngurangan biaya bahan ku 40% jeung waktu machining ku 35% (dumasar kana 2024 tolok ukur industri).

Solusi Aluminium Kami pikeun Kamar Precision

Awak Kamar & Lids

Bahan: 5083/6061 Pelat Aluminium (dugi ka 150mm kandel)

Prosés: vakum-cocog CNC machining kalawan Ra ≤ 0.8μm permukaan finish

Spésifikasi konci: AMS 2772 perlakuan panas, 100% tés ultrasonik

Komponén Distribusi Gas

Produk: tabung aluminium precision (OD 3mm-200mm) kalawan mikro-bores internal

Tech: Pangeboran jero-liang (L / D ratio 30: 1), electropolishing

Rojongan Struktural & Fasteners

Bahan: 7075-T651 Aluminium Rods (kakuatan-ka-beurat rasio tinggi)

minuhan: standar SEMI F72 pikeun outgassing kontrol

Naha Mitra Kami pikeun Proyék Kamar Semikonduktor anjeun?

1. Dedicated Cleanroom Machining: Kelas 1000 fasilitas nyegah kontaminasi particulate.

2. Traceability bahan: laporan test Mill pikeununggal plat aluminium/rod/tabung.

3. Plasma-dioptimalkeun pagawean: passivation proprietary pikeun lalawanan korosi.

4. Rapid Prototyping: 15-dinten waktos kalungguhan pikeun geometries chamber kompléks.