Производство полупроводников требует предельной точности, и камера — сердце критического оборудования, такого как реакторы CVD и травильные машины — играет ключевую роль. В этом руководстве рассматриваются основы проектирования камеры и то, как высокочистые алюминиевые сплавы решают ключевые отраслевые проблемы.

5 критических факторов, влияющих на производительность камеры (и как алюминий превосходит ее)

1. Совместимость со сверхвысоким вакуумом (СВВ) и предотвращение утечек

Проблема: Микроскопические утечки нарушают целостность процесса.

Преимущество алюминия:Бесшовные корпуса, изготовленные на станках с ЧПУиз алюминиевых заготовок исключают точки сварки. Наш сплав 6061-T6 достигает < 10⁻⁹ мбар·л/сек скорости утечки гелия.

2. Терморегулирование: стабильность при экстремальных циклических нагрузках

Проблема: Термическая деформация приводит к загрязнению частицами.

Решение: Превосходная теплопроводность алюминия (≈150 Вт/м·К) превосходит показатели нержавеющей стали. Наши изготовленные на заказ алюминиевые пластины интегрируют охлаждающие каналы для однородности ±0,5°C.

3. Стойкость к плазменной коррозии в суровых условиях

Данные: Анодированный алюминий (толщиной 25 мкм+) выдерживает в 10 раз более длительное воздействие плазмы CF₄/O₂ по сравнению с необработанными поверхностями.

4. Магнитная проницаемость: целостность процесса ВЧ/плазмы

Почему алюминий? Почти нулевая магнитная проницаемость предотвращает искажение поля в травителях/имплантаторах.

5. Оптимизация затрат и производительности

Пример использования: Замена обработанной нержавеющей сталикамеры с алюминиемснижает затраты на материалы на 40% и время обработки на 35% (на основе отраслевых показателей 2024 года).

Наши алюминиевые решения для прецизионных камер

Корпуса и крышки камер

Материал: алюминиевые пластины 5083/6061 (толщиной до 150 мм)

Процесс: Вакуумная обработка на станке с ЧПУ с шероховатостью поверхности Ra ≤ 0,8 мкм

Основные характеристики: термообработка AMS 2772, 100% ультразвуковой контроль

Компоненты газораспределения

Продукция: Прецизионные алюминиевые трубы (внешний диаметр 3-200 мм) с внутренними микроотверстиями.

Технология: Глубокое сверление (соотношение длины к диаметру 30:1), электрополировка

Конструкционные опоры и крепежные элементы

Материал: алюминиевые стержни 7075-T651 (высокое отношение прочности к весу)

Соответствие: стандарты SEMI F72 по контролю газовыделения

Почему стоит сотрудничать с нами для реализации проекта по созданию полупроводниковой камеры?

1. Специализированная обработка в чистых помещениях: оборудование класса 1000 предотвращает загрязнение твердыми частицами.

2. Прослеживаемость материалов: отчеты об испытаниях на заводекаждая алюминиевая пластина/стержень/трубка.

3. Плазменная оптимизация отделки: запатентованная пассивация для коррозионной стойкости.

4. Быстрое прототипирование: срок изготовления камер сложной геометрии составляет 15 дней.