A félvezetőgyártás rendkívüli precizitást igényel, és a kamra – a kritikus berendezések, például a CVD reaktorok és a marógépek lelke – kulcsszerepet játszik ebben. Ez az útmutató a kamratervezés lényegét és azt vizsgálja, hogy a nagy tisztaságú alumíniumötvözetek hogyan oldják meg az iparág kulcsfontosságú kihívásait.

5 kritikus tényező, ami befolyásolja a kamra teljesítményét (és hogyan tűnik ki az alumínium)

1. Ultramagas vákuum (UHV) kompatibilitás és szivárgásmegelőzés

Probléma: A mikroszkopikus szivárgások tönkreteszik a folyamat integritását.

Alumínium előnye:Varratmentes CNC-megmunkált testekAz alumínium tuskókból készült termékek kiküszöbölik a hegesztési pontokat. 6061-T6 ötvözetünk < 10⁻⁹ mbar·L/sec héliumszivárgási sebességet ér el.

2. Hőszabályozás: Stabilitás extrém kerékpározás közben

Probléma: A hővetemülés részecskeszennyeződést okoz.

Megoldás: Az alumínium kiváló hővezető képessége (≈150 W/m·K) felülmúlja a rozsdamentes acélét. Egyedi gyártású alumíniumlemezeink hűtőcsatornákat tartalmaznak a ±0,5°C-os egyenletesség érdekében.

3. Plazmakorrózióállóság zord környezetben

Adatpont: Az eloxált alumínium (25 μm+ vastagság) 10-szer hosszabb ideig bírja a CF₄/O₂ plazma expozíciót a kezeletlen felületekhez képest.

4. Mágneses permeabilitás: RF/plazma folyamat integritása

Miért alumínium? A közel nulla mágneses permeabilitás megakadályozza a tér torzulását a maratókban/implantátorokban.

5. Költség kontra teljesítményoptimalizálás

Esettanulmány: Megmunkált rozsdamentes acél cseréjealumíniummal bevont kamrák40%-kal csökkenti az anyagköltségeket és 35%-kal a megmunkálási időt (a 2024-es iparági referenciaértékek alapján).

Alumínium megoldásaink precíziós kamrákhoz

Kamratestek és fedelek

Anyag: 5083/6061 alumínium lemezek (akár 150 mm vastagságig)

Folyamat: Vákuumkompatibilis CNC megmunkálás Ra ≤ 0,8 μm felületi minőséggel

Főbb jellemzők: AMS 2772 hőkezelés, 100%-os ultrahangos vizsgálat

Gázelosztó alkatrészek

Termékek: Precíziós alumínium csövek (külső átmérő 3 mm-200 mm) belső mikrofuratokkal

Technika: Mélylyukfúrás (L/D arány 30:1), elektropolírozás

Szerkezeti támaszok és rögzítők

Anyag: 7075-T651 alumínium rudak (nagy szilárdság-tömeg arány)

Megfelelőség: SEMI F72 szabványok a gázkibocsátás szabályozására

Miért válasszon minket partnerként félvezető kamra projektjéhez?

1. Dedikált tisztatéri megmunkálás: Az 1000-es osztályú létesítmény megakadályozza a részecskeszennyeződést.

2. Anyagkövetés: Malomvizsgálati jelentések a következőkről:minden alumíniumlemez/rúd/cső.

3. Plazma-optimalizált kidolgozás: Saját fejlesztésű passziválás a korrózióállóság érdekében.

4. Gyors prototípusgyártás: 15 napos átfutási idő komplex kamrageometriák esetén.