ది అల్టిమేట్ గైడ్ టు సెమీకండక్టర్ ఛాంబర్స్: అల్యూమినియం ఎందుకు ఎంపిక పదార్థం

సెమీకండక్టర్ తయారీకి అత్యంత ఖచ్చితత్వం అవసరం, మరియు చాంబర్ - CVD రియాక్టర్లు మరియు ఎచింగ్ మెషీన్లు వంటి కీలక పరికరాల గుండె - కీలక పాత్ర పోషిస్తుంది. ఈ గైడ్ చాంబర్ డిజైన్ అవసరాలను మరియు అధిక-స్వచ్ఛత అల్యూమినియం మిశ్రమాలు కీలక పరిశ్రమ సవాళ్లను ఎలా పరిష్కరిస్తాయో అన్వేషిస్తుంది.

ఛాంబర్ పనితీరును నడిపించే 5 కీలక అంశాలు (మరియు అల్యూమినియం ఎలా రాణిస్తుంది)

1. అల్ట్రా-హై వాక్యూమ్ (UHV) అనుకూలత & లీక్ నివారణ

సమస్య: మైక్రోస్కోపిక్ లీక్‌లు ప్రక్రియ సమగ్రతను నాశనం చేస్తాయి.

అల్యూమినియం ప్రయోజనం:అతుకులు లేని CNC-యంత్ర శరీరాలుఅల్యూమినియం బిల్లెట్ల నుండి వెల్డింగ్ పాయింట్లను తొలగిస్తుంది. మా 6061-T6 మిశ్రమం < 10⁻⁹ mbar·L/sec హీలియం లీక్ రేట్లను సాధిస్తుంది.

2. థర్మల్ మేనేజ్‌మెంట్: ఎక్స్‌ట్రీమ్ సైక్లింగ్ కింద స్థిరత్వం

సమస్య: థర్మల్ వార్పింగ్ కణ కాలుష్యానికి కారణమవుతుంది.

పరిష్కారం: అల్యూమినియం యొక్క అత్యుత్తమ ఉష్ణ వాహకత (≈150 W/m·K) స్టెయిన్‌లెస్ స్టీల్ కంటే మెరుగ్గా పనిచేస్తుంది. మా కస్టమ్-ఫాబ్రికేటెడ్ అల్యూమినియం ప్లేట్లు ±0.5°C ఏకరూపత కోసం శీతలీకరణ ఛానెల్‌లను అనుసంధానిస్తాయి.

3. కఠినమైన వాతావరణాలలో ప్లాస్మా తుప్పు నిరోధకత

డేటా పాయింట్: అనోడైజ్డ్ అల్యూమినియం (25μm+ మందం) చికిత్స చేయని ఉపరితలాలతో పోలిస్తే 10 రెట్లు ఎక్కువ CF₄/O₂ ప్లాస్మా ఎక్స్‌పోజర్‌ను తట్టుకుంటుంది.

4. అయస్కాంత పారగమ్యత: RF/ప్లాస్మా ప్రక్రియ సమగ్రత

అల్యూమినియం ఎందుకు? దాదాపు సున్నా అయస్కాంత పారగమ్యత ఎచర్లు/ఇంప్లాంటర్లలో క్షేత్ర వక్రీకరణను నిరోధిస్తుంది.

5. ఖర్చు vs. పనితీరు ఆప్టిమైజేషన్

కేస్ స్టడీ: మెషిన్డ్ స్టెయిన్‌లెస్ స్టీల్‌ను మార్చడంఅల్యూమినియంతో కూడిన గదులుమెటీరియల్ ఖర్చులను 40% మరియు మెషినింగ్ సమయాన్ని 35% తగ్గిస్తుంది (2024 పరిశ్రమ బెంచ్‌మార్క్‌ల ఆధారంగా).

ప్రెసిషన్ ఛాంబర్‌ల కోసం మా అల్యూమినియం సొల్యూషన్స్

చాంబర్ బాడీలు & మూతలు

మెటీరియల్: 5083/6061 అల్యూమినియం ప్లేట్లు (150mm వరకు మందం)

ప్రక్రియ: Ra ≤ 0.8μm ఉపరితల ముగింపుతో వాక్యూమ్-అనుకూల CNC మ్యాచింగ్

ముఖ్య లక్షణాలు: AMS 2772 హీట్ ట్రీట్మెంట్, 100% అల్ట్రాసోనిక్ టెస్టింగ్

గ్యాస్ పంపిణీ భాగాలు

ఉత్పత్తులు: అంతర్గత మైక్రో-బోర్లతో కూడిన ప్రెసిషన్ అల్యూమినియం ట్యూబ్‌లు (OD 3mm-200mm)

టెక్: డీప్-హోల్ డ్రిల్లింగ్ (L/D నిష్పత్తి 30:1), ఎలక్ట్రోపాలిషింగ్

స్ట్రక్చరల్ సపోర్ట్‌లు & ఫాస్టెనర్‌లు

మెటీరియల్: 7075-T651 అల్యూమినియం రాడ్లు (అధిక బలం-బరువు నిష్పత్తి)

వర్తింపు: అవుట్‌గ్యాసింగ్ నియంత్రణ కోసం SEMI F72 ప్రమాణాలు

మీ సెమీకండక్టర్ చాంబర్ ప్రాజెక్ట్ కోసం మాతో ఎందుకు భాగస్వామ్యం కావాలి?