Proizvodnja polprevodnikov zahteva izjemno natančnost, pri čemer ima komora – srce kritične opreme, kot so reaktorji CVD in jedkalni stroji – ključno vlogo. Ta priročnik raziskuje bistvene elemente zasnove komore in kako visoko čiste aluminijeve zlitine rešujejo ključne izzive v industriji.

5 ključnih dejavnikov, ki vplivajo na delovanje komore (in kako se aluminij odlikuje)

1. Združljivost z ultra visokim vakuumom (UHV) in preprečevanje puščanja

Težava: Mikroskopska puščanja uničujejo integriteto procesa.

Prednost aluminija:Brezšivna CNC obdelana telesaiz aluminijastih gredic se odstranijo varilne točke. Naša zlitina 6061-T6 dosega stopnje puščanja helija < 10⁻⁹ mbar·L/s.

2. Upravljanje s toploto: stabilnost pri ekstremnih ciklih

Težava: Toplotno upogibanje povzroča kontaminacijo z delci.

Rešitev: Aluminij ima vrhunsko toplotno prevodnost (≈150 W/m·K) in je boljši od nerjavečega jekla. Naše aluminijaste plošče, izdelane po meri, imajo vgrajene hladilne kanale za enakomernost ±0,5 °C.

3. Odpornost proti plazemski koroziji v zahtevnih okoljih

Podatek: Anodiziran aluminij (debeline 25 μm+) prenese 10-krat daljšo izpostavljenost plazmi CF₄/O₂ v primerjavi z neobdelanimi površinami.

4. Magnetna prepustnost: integriteta RF/plazemskega procesa

Zakaj aluminij? Skoraj ničelna magnetna prepustnost preprečuje popačenje polja v jedkalnikih/implanterjih.

5. Optimizacija stroškov v primerjavi z optimizacijo učinkovitosti

Študija primera: Zamenjava strojno obdelanega nerjavečega jeklakomore z aluminijemzmanjša stroške materiala za 40 % in čas obdelave za 35 % (na podlagi industrijskih meril za leto 2024).

Naše aluminijaste rešitve za precizne komore

Ohišja in pokrovi komor

Material: aluminijaste plošče 5083/6061 (debeline do 150 mm)

Postopek: CNC obdelava, združljiva z vakuumom, s površinsko obdelavo Ra ≤ 0,8 μm

Ključne specifikacije: toplotna obdelava AMS 2772, 100 % ultrazvočno testiranje

Komponente za distribucijo plina

Izdelki: Precizne aluminijaste cevi (zunanji premer 3 mm–200 mm) z notranjimi mikro izvrtinami

Tehnologija: Vrtanje globokih lukenj (razmerje L/D 30:1), elektropoliranje

Strukturni nosilci in pritrdilni elementi

Material: Aluminijaste palice 7075-T651 (visoko razmerje med trdnostjo in težo)

Skladnost: standardi SEMI F72 za nadzor odplinjevanja

Zakaj bi se pri projektu polprevodniške komore odločili za sodelovanje z nami?

1. Namenska obdelava v čistih prostorih: Objekt razreda 1000 preprečuje kontaminacijo z delci.

2. Sledljivost materiala: poročila o preskusih mlinov zavsaka aluminijasta plošča/palica/cev.

3. Plazemsko optimizirana končna obdelava: Lastniška pasivacija za odpornost proti koroziji.

4. Hitra izdelava prototipov: 15-dnevni dobavni rok za kompleksne geometrije komor.