Ny famokarana semiconductor dia mitaky fahitsiana faran'izay haingana, ary ny efitrano - ny fon'ny fitaovana manakiana toy ny reactor CVD sy ny milina etching - dia mitana anjara toerana lehibe. Ity toro-lalana ity dia mandinika ny tena ilaina amin'ny famolavolana efitrano sy ny fomba hamahana ny fanamby lehibe amin'ny indostria ny firaka aluminium madiodio.

Antony 5 manan-danja amin'ny fampandehanana ny efitranon'ny efitrano (ary ny fomba fiasan'ny aluminium)

1. Fifanarahana amin'ny Vacuum Ultra-High (UHV) & Fisorohana ny Leak

Olana: Ny fiparitahan'ny microscopic dia manimba ny tsy fivadihana.

Aluminum tombony:Vatana vita amin'ny CNC seamlessavy amin'ny bileta aluminium manafoana teboka weld. Ny firaka 6061-T6 dia mahatratra <10⁻⁹ mbar·L/sec ny tahan'ny leak helium.

2. Fitantanana Thermal: Filaminana eo ambanin'ny bisikileta tafahoatra

Olana: Ny fandotoana ny hafanana dia miteraka fandotoana poti.

Vahaolana: Mihoatra lavitra noho ny vy tsy misy kilema ny fandrefesana mafana an'ny Aluminum (≈150 W/m·K). Ny takelaka aluminium vita amin'ny fomba mahazatra dia mampiditra fantsona mangatsiaka ho an'ny fitoviana ± 0,5 ° C.

3. Ny fanoherana ny harafesina Plasma amin'ny tontolo masiaka

Data Point: Anodized aliminioma (25μm+ hateviny) mahatohitra 10x lava kokoa CF₄/O₂ fampirantiana plasma vs. tsy voatsabo.

4. Fampitandremana andriamby: RF / Plasma Process Integrity

Nahoana no Aluminum? Ny permeability magnetika manakaiky ny zero dia manakana ny fikorontanan'ny saha amin'ny etchers / implantera.

5. Cost vs. Performance Optimization

Fandinihana tranga: Fanoloana fitaovana tsy misy milinaefitrano misy aluminiummampihena ny vidin'ny fitaovana amin'ny 40% sy ny fotoana machining amin'ny 35% (mifototra amin'ny 2024 benchmarks indostria).

Ny Vahaolana Aluminum ho an'ny Efitrano Precision

Efitrano Vatana & Sarony

Fitaovana: 5083/6061 Aluminum Plates (hatramin'ny 150mm matevina)

Dingana: Vacuum-mifanaraka CNC machining amin'ny Ra ≤ 0.8μm ambonin'ny vita

Famaritana fototra: fitsaboana hafanana AMS 2772, fitsapana ultrasonic 100%.

Ireo singa fizarana entona

Vokatra: fantsona aluminium precision (OD 3mm-200mm) miaraka amin'ny micro-bore anatiny

Tech: Fandavahana lalina (L/D ratio 30:1), electropolishing

Fanohanana ara-drafitra & Fasteners

Fitaovana: 7075-T651 Aluminum Rods (avo hery-to-lanja tahan'ny)

Fanaraha-maso: fenitra SEMI F72 ho an'ny fanaraha-maso ny fivoahana

Nahoana no miara-miasa aminay amin'ny tetikasa Semiconductor Chamber anao?

1. Fanamboarana trano fidiovana manokana: Misoroka ny fandotoana potika ny trano Kilasy 1000.

2. Fitaovana azo traceability: Mill tatitra fitsapana ho an'nyisaky ny takelaka aluminium/rod/tube.

3. Plasma-Optimized Finishing: Ny fananan-tany ho an'ny fanoherana ny harafesina.

4. Rapid Prototyping: 15 andro fitarihana ho an'ny geometrika efitrano sarotra.