Yarimo'tkazgich ishlab chiqarish o'ta aniqlikni talab qiladi va kamera - CVD reaktorlari va etching mashinalari kabi muhim uskunalarning yuragi - hal qiluvchi rol o'ynaydi. Ushbu qo'llanma kamera dizaynining asosiy jihatlarini va yuqori toza alyuminiy qotishmalari sanoatning asosiy muammolarini qanday hal qilishini o'rganadi.

Haydash kamerasining ishlashining 5 ta muhim omili (va alyuminiy qanday yaxshilanadi)

1. Ultra-yuqori vakuum (UHV) muvofiqligi va oqishning oldini olish

Muammo: Mikroskopik qochqinlar jarayonning yaxlitligini buzadi.

Alyuminiyning afzalligi:Choksiz CNC ishlov beriladigan korpuslaralyuminiy ignabargli plitalardan payvandlash nuqtalarini yo'q qiladi. Bizning 6061-T6 qotishmamiz geliy oqish tezligini < 10⁻⁹ mbar·L/sek ga etadi.

2. Issiqlik boshqaruvi: ekstremal velosipedda barqarorlik

Muammo: Termik burish zarrachalar ifloslanishiga olib keladi.

Yechim: alyuminiyning yuqori issiqlik o'tkazuvchanligi (≈150 Vt/m·K) zanglamaydigan po'latdan ustundir. Bizning maxsus tayyorlangan alyuminiy plitalarimiz sovutish kanallarini ± 0,5 ° C bir xillik uchun birlashtiradi.

3. Qattiq muhitda plazma korroziyaga chidamliligi

Maʼlumot nuqtasi: Anodlangan alyuminiy (qalinligi 25 mkm+) tozalanmagan sirtlarga nisbatan plazma CF₄/O₂ taʼsiriga 10 baravar koʻproq bardosh beradi.

4. Magnit o'tkazuvchanlik: RF / plazma jarayonining yaxlitligi

Nima uchun alyuminiy? Nolga yaqin magnit o'tkazuvchanlik etcherlar/implanterlarda maydon buzilishining oldini oladi.

5. Xarajat va samaradorlikni optimallashtirish

Vaziyatni o'rganish: Qayta ishlangan zanglamaydigan po'latni almashtirishalyuminiyli kameralarmoddiy xarajatlarni 40% ga va ishlov berish vaqtini 35% ga qisqartiradi (2024 yilgi sanoat mezonlari asosida).

Nozik kameralar uchun alyuminiy yechimlarimiz

Kamera korpuslari va qopqoqlari

Material: 5083/6061 alyuminiy plitalar (qalinligi 150 mm gacha)

Jarayon: Ra ≤ 0,8 mkm sirt qoplamasi bilan vakuumga mos keladigan CNC ishlov berish

Asosiy xususiyatlar: AMS 2772 issiqlik bilan ishlov berish, 100% ultratovush tekshiruvi

Gaz taqsimlash komponentlari

Mahsulotlar: Ichki mikro teshiklari bo'lgan nozik alyuminiy quvurlar (OD 3mm-200mm).

Tech: Chuqur burg'ulash (L / D nisbati 30: 1), elektropolishing

Strukturaviy tayanchlar va mahkamlagichlar

Material: 7075-T651 alyuminiy novdalar (yuqori quvvat va vazn nisbati)

Muvofiqlik: gaz chiqarishni nazorat qilish uchun SEMI F72 standartlari

Nima uchun yarimo'tkazgich kamerasi loyihangiz uchun biz bilan hamkorlik qilasiz?

1. Maxsus toza xonaga ishlov berish: 1000-sinf qurilmasi zarrachalar bilan ifloslanishning oldini oladi.

2. Materialning kuzatilishi: uchun tegirmon sinov hisobotlarihar bir alyuminiy plastinka/ novda / quvur.

3. Plazma uchun optimallashtirilgan tugatish: korroziyaga chidamlilik uchun xususiy passivatsiya.

4. Tez prototiplash: murakkab kamera geometriyalari uchun 15 kunlik yetkazib berish muddati.