Жартылай өткізгішті өндіру өте дәлдікті талап етеді, ал камера — CVD реакторлары мен сызу машиналары сияқты маңызды жабдықтың жүрегі — шешуші рөл атқарады. Бұл нұсқаулық камераның дизайнының маңыздылығын және жоғары таза алюминий қорытпаларының негізгі салалық мәселелерді шешу жолдарын зерттейді.

Жүргізуші камерасының өнімділігінің 5 маңызды факторы (және алюминий қалай жақсы жұмыс істейді)

1. Ультра жоғары вакуум (UHV) үйлесімділігі және ағып кетудің алдын алу

Мәселе: Микроскопиялық ағып кету процестің тұтастығын бұзады.

Алюминий артықшылығы:Жіксіз CNC өңделген денелералюминий дайындамалары дәнекерлеу нүктелерін жояды. Біздің 6061-T6 қорытпасы гелийдің ағу жылдамдығына < 10⁻⁹ мбар·Л/сек жетеді.

2. Жылумен басқару: экстремалды цикл кезіндегі тұрақтылық

Мәселе: Термиялық деформация бөлшектердің ластануын тудырады.

Шешімі: Алюминийдің жоғары жылу өткізгіштігі (≈150 Вт/м·К) тот баспайтын болаттан асып түседі. Біздің тапсырыс бойынша жасалған алюминий тақталарымыз салқындату арналарын ±0,5°C біркелкілігі үшін біріктіреді.

3. Қатты ортадағы плазмалық коррозияға төзімділік

Деректер нүктесі: Анодталған алюминий (қалыңдығы 25 мкм+) өңделмеген беттерге қарағанда плазма әсерінен 10 есе ұзағырақ CF₄/O₂ әсер етеді.

4. Магниттік өткізгіштік: RF/плазмалық процестің тұтастығы

Неліктен алюминий? Магниттік өткізгіштік нөлге жақын болуы етерлерде/имплантерлердегі өрістің бұрмалануын болдырмайды.

5. Құны мен өнімділікті оңтайландыру

Жағдайды зерттеу: Өңделген тот баспайтын материалды ауыстыруалюминийі бар камераларматериал шығындарын 40%-ға және өңдеу уақытын 35%-ға қысқартады (2024 жылғы салалық көрсеткіштер негізінде).

Дәл камераларға арналған алюминий шешімдеріміз

Камера корпустары және қақпақтар

Материал: 5083/6061 алюминий тақталары (қалыңдығы 150 мм дейін)

Процесс: Ra ≤ 0,8 мкм беті бар вакууммен үйлесімді CNC өңдеу

Негізгі сипаттамалары: AMS 2772 термиялық өңдеу, 100% ультрадыбыстық сынақ

Газ тарату компоненттері

Өнімдер: Ішкі шағын тесіктері бар дәл алюминий түтіктер (OD 3мм-200мм).

Технология: Терең ұңғымаларды бұрғылау (L/D қатынасы 30:1), электрополировка

Құрылымдық тіректер мен бекіткіштер

Материал: 7075-T651 алюминий шыбықтар (беріктік пен салмақ арақатынасы жоғары)

Сәйкестік: газ шығаруды бақылау үшін SEMI F72 стандарттары

Жартылай өткізгіш камералық жобаңыз үшін неге бізбен серіктес боласыз?

1. Таза бөлмені арнайы өңдеу: 1000-сыныптағы қондырғы бөлшектердің ластануын болдырмайды.

2. Материалдың қадағалану мүмкіндігі: диірменге арналған сынақ есептеріәрбір алюминий пластина/шыбық/түтік.

3. Плазмамен оңтайландырылған әрлеу: коррозияға төзімділік үшін меншікті пассивация.

4. Жылдам прототиптеу: күрделі камера геометриялары үшін 15 күндік жеткізу уақыты.