Halvlederproduktion kræver ekstrem præcision, og kammeret – hjertet i kritisk udstyr som CVD-reaktorer og ætsemaskiner – spiller en central rolle. Denne guide udforsker det væsentlige ved kammerdesign og hvordan aluminiumlegeringer med høj renhed løser centrale udfordringer i industrien.

5 kritiske faktorer, der driver kammerets ydeevne (og hvordan aluminium udmærker sig)

1. Ultrahøj vakuum (UHV) kompatibilitet og lækageforebyggelse

Problem: Mikroskopiske lækager ødelægger procesintegriteten.

Aluminium fordel:Sømløse CNC-bearbejdede karrosserierfra aluminiumsstykker eliminerer svejsepunkter. Vores 6061-T6 legering opnår heliumlækagehastigheder på < 10⁻⁹ mbar·L/sek.

2. Termisk styring: Stabilitet under ekstreme cyklusser

Problem: Termisk vridning forårsager partikelforurening.

Løsning: Aluminiums overlegne varmeledningsevne (≈150 W/m·K) overgår rustfrit stål. Vores specialfremstillede aluminiumsplader integrerer kølekanaler for ensartethed på ±0,5 °C.

3. Plasmakorrosionsbestandighed i barske miljøer

Datapunkt: Anodiseret aluminium (25 μm+ tykkelse) modstår 10 gange længere CF₄/O₂ plasmaeksponering sammenlignet med ubehandlede overflader.

4. Magnetisk permeabilitet: RF/Plasma-procesintegritet

Hvorfor aluminium? Næsten nul magnetisk permeabilitet forhindrer feltforvrængning i ætsere/implantater.

5. Omkostninger vs. ydeevneoptimering

Casestudie: Udskiftning af bearbejdet rustfrit stålkamre med aluminiumreducerer materialeomkostninger med 40 % og bearbejdningstiden med 35 % (baseret på branchestandarder fra 2024).

Vores aluminiumsløsninger til præcisionskamre

Kammerhuse og låg

Materiale: 5083/6061 aluminiumsplader (op til 150 mm tykke)

Proces: Vakuumkompatibel CNC-bearbejdning med Ra ≤ 0,8 μm overfladefinish

Nøglespecifikationer: AMS 2772 varmebehandling, 100% ultralydstestning

Gasdistributionskomponenter

Produkter: Præcisionsrør i aluminium (YD 3 mm-200 mm) med indvendige mikroboringer

Teknologi: Dybhulsboring (L/D-forhold 30:1), elektropolering

Strukturelle understøtninger og fastgørelseselementer

Materiale: 7075-T651 aluminiumsstænger (højt styrke-til-vægt-forhold)

Overholdelse af: SEMI F72-standarder for kontrol af udgasning

Hvorfor samarbejde med os om dit projekt inden for halvlederkammeret?

1. Dedikeret renrumsbearbejdning: Klasse 1000-anlæg forhindrer partikelforurening.

2. Materialesporbarhed: Mølletestrapporter forhver aluminiumsplade/stang/rør.

3. Plasmaoptimeret finish: Proprietær passivering for korrosionsbestandighed.

4. Rapid Prototyping: 15 dages leveringstid for komplekse kammergeometrier.