La fabrication de semi-conducteurs exige une précision extrême, et la chambre, au cœur d'équipements critiques comme les réacteurs CVD et les machines de gravure, joue un rôle essentiel. Ce guide explore les fondamentaux de la conception de la chambre et explique comment les alliages d'aluminium de haute pureté permettent de relever les principaux défis de l'industrie.

5 facteurs critiques qui influencent les performances de la chambre (et comment l'aluminium excelle)

1. Compatibilité ultra-vide (UHV) et prévention des fuites

Problème : des fuites microscopiques ruinent l’intégrité du processus.

Avantage de l'aluminium :Corps usinés CNC sans soudureLes billettes d'aluminium éliminent les points de soudure. Notre alliage 6061-T6 atteint des taux de fuite d'hélium inférieurs à 10⁻⁹ mbar·L/sec.

2. Gestion thermique : stabilité sous cycles extrêmes

Problème : la déformation thermique provoque une contamination par des particules.

Solution : La conductivité thermique supérieure de l'aluminium (≈150 W/m·K) surpasse celle de l'acier inoxydable. Nos plaques d'aluminium fabriquées sur mesure intègrent des canaux de refroidissement pour une uniformité de ± 0,5 °C.

3. Résistance à la corrosion par plasma dans les environnements difficiles

Point de données : L'aluminium anodisé (épaisseur de 25 μm+) résiste 10 fois plus longtemps à une exposition au plasma CF₄/O₂ que les surfaces non traitées.

4. Perméabilité magnétique : intégrité du processus RF/Plasma

Pourquoi l'aluminium ? Sa perméabilité magnétique quasi nulle empêche la distorsion du champ magnétique dans les graveurs/implanteurs.

5. Optimisation des coûts et des performances

Étude de cas : Remplacement de l'acier inoxydable usinéchambres avec aluminiumréduit les coûts de matériaux de 40 % et le temps d'usinage de 35 % (sur la base des références industrielles de 2024).

Nos solutions en aluminium pour chambres de précision

Corps et couvercles de chambre

Matériau : plaques d'aluminium 5083/6061 (jusqu'à 150 mm d'épaisseur)

Procédé : Usinage CNC compatible avec le vide avec une finition de surface Ra ≤ 0,8 μm

Caractéristiques principales : Traitement thermique AMS 2772, contrôle 100 % par ultrasons

Composants de distribution de gaz

Produits : Tubes en aluminium de précision (OD 3 mm-200 mm) avec micro-alésages internes

Technologie : Forage de trous profonds (rapport L/D 30:1), électropolissage

Supports structurels et fixations

Matériau : tiges en aluminium 7075-T651 (rapport résistance/poids élevé)

Conformité : Normes SEMI F72 pour le contrôle du dégazage

Pourquoi collaborer avec nous pour votre projet de chambre à semi-conducteurs ?

1. Usinage en salle blanche dédiée : l'installation de classe 1000 empêche la contamination particulaire.

2. Traçabilité des matériaux : rapports d'essais en usine pourchaque plaque d'aluminium/tige/tube.

3. Finition optimisée au plasma : passivation exclusive pour une résistance à la corrosion.

4. Prototypage rapide : délai de 15 jours pour les géométries de chambre complexes.