سیمی کنڈکٹر چیمبرز کے لئے حتمی رہنما: ایلومینیم انتخاب کا مواد کیوں ہے

سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ انتہائی درستگی کا مطالبہ کرتی ہے، اور چیمبر — اہم آلات جیسے CVD ری ایکٹر اور اینچنگ مشینوں کا مرکز — ایک اہم کردار ادا کرتا ہے۔ یہ گائیڈ چیمبر کے ڈیزائن کے لوازمات کی کھوج کرتا ہے اور یہ کہ کس طرح اعلی پاکیزگی والے ایلومینیم کے مرکب صنعت کے اہم چیلنجوں کو حل کرتے ہیں۔

چیمبر کی کارکردگی کو چلانے والے 5 اہم عوامل (اور ایلومینیم کیسے ایکسل کرتا ہے)

1. الٹرا ہائی ویکیوم (UHV) مطابقت اور رساو کی روک تھام

مسئلہ: مائکروسکوپک لیک عمل کی سالمیت کو برباد کر دیتے ہیں۔

ایلومینیم فائدہ:ہموار CNC مشینی باڈیزایلومینیم بلٹس سے ویلڈ پوائنٹس کو ختم کریں۔ ہمارا 6061-T6 الائے <10⁻⁹ mbar·L/sec ہیلیم لیک کی شرح حاصل کرتا ہے۔

2. تھرمل مینجمنٹ: انتہائی سائیکلنگ کے تحت استحکام

مسئلہ: تھرمل وارپنگ ذرات کی آلودگی کا سبب بنتی ہے۔

حل: ایلومینیم کی اعلی تھرمل چالکتا (≈150 W/m·K) سٹینلیس سٹیل سے بہتر کارکردگی کا مظاہرہ کرتی ہے۔ ہماری حسب ضرورت تیار کردہ ایلومینیم پلیٹیں ±0.5°C یکسانیت کے لیے کولنگ چینلز کو مربوط کرتی ہیں۔

3. سخت ماحول میں پلازما سنکنرن مزاحمت

ڈیٹا پوائنٹ: انوڈائزڈ ایلومینیم (25μm+ موٹائی) 10x طویل CF₄/O₂ پلازما کی نمائش بمقابلہ علاج نہ ہونے والی سطحوں کو برداشت کرتا ہے۔

4. مقناطیسی پارگمیتا: RF/پلازما عمل کی سالمیت

ایلومینیم کیوں؟ صفر کے قریب مقناطیسی پارگمیتا etchers/implanters میں فیلڈ کی مسخ کو روکتا ہے۔

5. لاگت بمقابلہ کارکردگی کی اصلاح

کیس اسٹڈی: مشینی سٹینلیس کو تبدیل کرناایلومینیم کے ساتھ چیمبرمادی لاگت میں 40% اور مشینی وقت میں 35% کمی کرتا ہے (2024 انڈسٹری کے معیارات کی بنیاد پر)۔

پریسجن چیمبرز کے لیے ہمارے ایلومینیم حل

چیمبر باڈیز اور ڈھکن

مواد: 5083/6061 ایلومینیم پلیٹیں (150 ملی میٹر تک موٹی)

عمل: Ra ≤ 0.8μm سطح ختم کے ساتھ ویکیوم سے مطابقت رکھنے والی CNC مشینی

کلیدی تفصیلات: AMS 2772 ہیٹ ٹریٹمنٹ، 100% الٹراسونک ٹیسٹنگ

گیس کی تقسیم کے اجزاء

مصنوعات: اندرونی مائیکرو بورز کے ساتھ صحت سے متعلق ایلومینیم ٹیوبیں (OD 3mm-200mm)

ٹیک: ڈیپ ہول ڈرلنگ (L/D تناسب 30:1)، الیکٹرو پولشنگ

ساختی سپورٹ اور فاسٹنرز

مواد: 7075-T651 ایلومینیم راڈز (اعلی طاقت سے وزن کا تناسب)

تعمیل: آؤٹ گیسنگ کنٹرول کے لیے SEMI F72 معیارات

اپنے سیمی کنڈکٹر چیمبر پروجیکٹ کے لیے ہمارے ساتھ شراکت کیوں کریں؟