ការផលិត semiconductor ទាមទារភាពជាក់លាក់ខ្លាំង ហើយអង្គជំនុំជម្រះ ដែលជាបេះដូងនៃឧបករណ៍សំខាន់ ដូចជាម៉ាស៊ីនរ៉េអាក់ទ័រ CVD និងម៉ាស៊ីនឆ្លាក់ - ដើរតួយ៉ាងសំខាន់។ មគ្គុទ្ទេសក៍នេះស្វែងយល់ពីភាពចាំបាច់នៃការរចនាបន្ទប់ និងពីរបៀបដែលលោហធាតុអាលុយមីញ៉ូមដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ដោះស្រាយបញ្ហាប្រឈមក្នុងឧស្សាហកម្មសំខាន់ៗ។

កត្តាសំខាន់ៗចំនួន 5 ជំរុញដំណើរការរបស់អង្គជំនុំជម្រះ (និងរបៀបដែលអាលុយមីញ៉ូម Excels)

1. Ultra-High Vacuum (UHV) ភាពឆបគ្នា និងការការពារការលេចធ្លាយ

បញ្ហា៖ ការលេចធ្លាយមីក្រូទស្សន៍បំផ្លាញភាពសុចរិតនៃដំណើរការ។

អត្ថប្រយោជន៍អាលុយមីញ៉ូម៖តួម៉ាស៊ីន CNC គ្មានថ្នេរពីបន្ទះអាលុយមីញ៉ូមលុបបំបាត់ចំណុចផ្សារ។ យ៉ាន់ស្ព័រ 6061-T6 របស់យើងសម្រេចបាន <10⁻⁹ mbar·L/sec អត្រាលេចធ្លាយអេលីយ៉ូម។

2. ការគ្រប់គ្រងកម្ដៅ៖ ស្ថេរភាពនៅក្រោមការជិះកង់ខ្លាំង

បញ្ហា៖ ការឡើងកំដៅ បណ្តាលឱ្យមានការចម្លងរោគនៃភាគល្អិត។

ដំណោះស្រាយ៖ ចរន្តកំដៅដ៏ប្រសើររបស់អាលុយមីញ៉ូម (≈150 W/m·K) ដំណើរការជាងដែកអ៊ីណុក។ បន្ទះអាលុយមីញ៉ូមដែលផលិតតាមតម្រូវការរបស់យើងរួមបញ្ចូលបណ្តាញត្រជាក់សម្រាប់ឯកសណ្ឋាន ±0.5°C។

3. ភាពធន់នឹងការច្រេះប្លាស្មានៅក្នុងបរិយាកាសដ៏អាក្រក់

ចំណុចទិន្នន័យ៖ អាលុយមីញ៉ូម Anodized (កម្រាស់ 25μm+) ទប់ទល់នឹងការប៉ះពាល់ប្លាស្មា CF₄/O₂ បានយូរជាង 10x ធៀបនឹងផ្ទៃដែលមិនត្រូវបានព្យាបាល។

4. ភាពជ្រាបចូលនៃម៉ាញេទិក៖ ភាពសុចរិតនៃដំណើរការ RF/ប្លាស្មា

ហេតុអ្វីបានជាអាលុយមីញ៉ូម? ភាពជ្រាបចូលនៃម៉ាញេទិចជិតសូន្យការពារការបង្ខូចទ្រង់ទ្រាយវាលនៅក្នុង etchers/implanters ។

5. ការចំណាយធៀបនឹងការបង្កើនប្រសិទ្ធភាពប្រតិបត្តិការ

ករណីសិក្សា៖ ការជំនួសម៉ាស៊ីនអ៊ីណុកបន្ទប់ជាមួយអាលុយមីញ៉ូមកាត់បន្ថយថ្លៃដើមសម្ភារៈ 40% និងពេលវេលាម៉ាស៊ីន 35% (ផ្អែកលើស្តង់ដារឧស្សាហកម្មឆ្នាំ 2024)។

ដំណោះស្រាយអាលុយមីញ៉ូមរបស់យើងសម្រាប់អង្គជំនុំជម្រះភាពជាក់លាក់

អង្គជំនុំជម្រះ និងគម្រប

សម្ភារៈ៖ បន្ទះអាលុយមីញ៉ូម 5083/6061 (កម្រាស់រហូតដល់ 150mm)

ដំណើរការ៖ ម៉ាស៊ីន CNC ដែលត្រូវគ្នានឹងម៉ាស៊ីនបូមធូលីជាមួយផ្ទៃ Ra ≤ 0.8μm

លក្ខណៈពិសេសសំខាន់ៗ៖ ការព្យាបាលកំដៅ AMS 2772 ការធ្វើតេស្តអ៊ុលត្រាសោន 100%

សមាសធាតុចែកចាយឧស្ម័ន

ផលិតផល៖ បំពង់អាលុយមីញ៉ូមដែលមានភាពជាក់លាក់ (OD 3mm-200mm) ជាមួយនឹងរន្ធមីក្រូខាងក្នុង

បច្ចេកវិទ្យា៖ ការខួងរន្ធជ្រៅ (សមាមាត្រ L/D 30:1), អេឡិចត្រូប៉ូឡូញ

ការគាំទ្ររចនាសម្ព័ន្ធ & តោង

សម្ភារៈ: 7075-T651 កំណាត់អាលុយមីញ៉ូម (សមាមាត្រកម្លាំងខ្ពស់ទៅនឹងទម្ងន់)

ការអនុលោមតាម៖ ស្តង់ដារ SEMI F72 សម្រាប់ការគ្រប់គ្រងការបង្ហូរចេញ

ហេតុអ្វីបានជាដៃគូរជាមួយយើងសម្រាប់គម្រោង Semiconductor Chamber របស់អ្នក?

1. ម៉ាស៊ីនសម្អាតបន្ទប់ឧស្សាហ៍៖ គ្រឿងបរិក្ខារថ្នាក់ 1000 ការពារការចម្លងរោគដោយភាគល្អិត។

2. ការតាមដានសម្ភារៈ៖ របាយការណ៍សាកល្បងរបស់រោងម៉ាស៊ីនកិនស្រូវសម្រាប់រាល់បន្ទះអាលុយមីញ៉ូម/ ដំបង / បំពង់។

3. ការបញ្ចប់ប្លាស្មា - ធ្វើឱ្យប្រសើរ: កម្មសិទ្ធិអកម្មសម្រាប់ភាពធន់នឹងច្រេះ។

4. Rapid Prototyping: រយៈពេល 15 ថ្ងៃសម្រាប់ធរណីមាត្រនៃអង្គជំនុំជម្រះស្មុគស្មាញ។