Halvlederproduksjon krever ekstrem presisjon, og kammeret – hjertet i kritisk utstyr som CVD-reaktorer og etsemaskiner – spiller en sentral rolle. Denne veiledningen utforsker det grunnleggende ved kammerdesign og hvordan høyrente aluminiumslegeringer løser viktige utfordringer i industrien.

5 kritiske faktorer som driver kammerets ytelse (og hvordan aluminium utmerker seg)

1. Ultrahøyvakuum (UHV)-kompatibilitet og lekkasjeforebygging

Problem: Mikroskopiske lekkasjer ødelegger prosessintegriteten.

Aluminium fordel:Sømløse CNC-maskinerte karosserierfra aluminiumsblokker eliminerer sveisepunkter. Vår 6061-T6-legering oppnår heliumlekkasjerater på < 10⁻⁹ mbar·L/sek.

2. Termisk håndtering: Stabilitet under ekstreme sykler

Problem: Termisk vridning forårsaker partikkelforurensning.

Løsning: Aluminiums overlegne varmeledningsevne (≈150 W/m·K) overgår rustfritt stål. Våre spesialproduserte aluminiumsplater integrerer kjølekanaler for ensartethet på ±0,5 °C.

3. Plasmakorrosjonsmotstand i tøffe miljøer

Datapunkt: Anodisert aluminium (25 μm+ tykkelse) tåler 10 ganger lengre CF₄/O₂-plasmaeksponering sammenlignet med ubehandlede overflater.

4. Magnetisk permeabilitet: RF/Plasma-prosessintegritet

Hvorfor aluminium? Nesten null magnetisk permeabilitet forhindrer feltforvrengning i etsere/implantater.

5. Kostnad kontra ytelsesoptimalisering

Casestudie: Utskifting av maskinert rustfritt stålkamre med aluminiumreduserer materialkostnader med 40 % og maskineringstiden med 35 % (basert på bransjestandarder for 2024).

Våre aluminiumsløsninger for presisjonskamre

Kammerkropper og lokk

Materiale: 5083/6061 aluminiumsplater (opptil 150 mm tykke)

Prosess: Vakuumkompatibel CNC-maskinering med Ra ≤ 0,8 μm overflatefinish

Viktige spesifikasjoner: AMS 2772 varmebehandling, 100 % ultralydtesting

Gassdistribusjonskomponenter

Produkter: Presisjonsrør i aluminium (ytterdiameter 3 mm–200 mm) med innvendige mikroboringer

Teknologi: Dyphullsboring (L/D-forhold 30:1), elektropolering

Strukturelle støtter og festemidler

Materiale: 7075-T651 aluminiumstenger (høyt styrke-til-vekt-forhold)

Samsvar: SEMI F72-standarder for kontroll av utgassing

Hvorfor samarbeide med oss ​​for ditt halvlederkammerprosjekt?

1. Dedikert renromsmaskinering: Klasse 1000-anlegg forhindrer partikkelforurensning.

2. Materialsporbarhet: Mølletestrapporter forhver aluminiumsplate/stang/rør.

3. Plasmaoptimalisert etterbehandling: Egenutviklet passivering for korrosjonsbestandighet.

4. Rask prototyping: 15 dagers ledetid for komplekse kammergeometrier.