המדריך האולטימטיבי לתאי מוליכים למחצה: מדוע אלומיניום הוא החומר המועדף

ייצור מוליכים למחצה דורש דיוק קיצוני, והתא - לב ליבם של ציוד קריטי כמו כורי CVD ומכונות איכול - ממלא תפקיד מרכזי. מדריך זה בוחן את יסודות תכנון התא וכיצד סגסוגות אלומיניום בעלות טוהר גבוה פותרות אתגרים מרכזיים בתעשייה.

5 גורמים קריטיים המניעים את ביצועי תא החימום (וכיצד אלומיניום מצטיין)

1. תאימות לוואקום גבוה במיוחד (UHV) ומניעת דליפות

בעיה: דליפות מיקרוסקופיות הורסות את שלמות התהליך.

יתרון אלומיניום:גופים חלקים מעובדים ב-CNCמבילטים מאלומיניום מבטלים נקודות ריתוך. סגסוגת 6061-T6 שלנו משיגה קצב דליפת הליום של פחות מ-10⁻⁹ mbar·L/sec.

2. ניהול תרמי: יציבות תחת מחזורי תנועה קיצוניים

בעיה: עיוות תרמי גורם לזיהום חלקיקים.

פתרון: מוליכות תרמית מעולה של אלומיניום (≈150 W/m·K) עולה על פלדת אל-חלד. לוחות האלומיניום המיוצרים בהתאמה אישית שלנו משלבים תעלות קירור לאחידות של ±0.5°C.

3. עמידות בפני קורוזיה בפלזמה בסביבות קשות

נקודת נתונים: אלומיניום אנודייז (עובי של 25 מיקרומטר ומעלה) עומד בחשיפה ארוכה פי 10 של CF₄/O₂ לפלזמה בהשוואה למשטחים שלא טופלו.

4. חדירות מגנטית: שלמות תהליך RF/פלזמה

למה אלומיניום? חדירות מגנטית כמעט אפסית מונעת עיוות שדה במכשירי חריטה/שתלה.

5. אופטימיזציה של עלות לעומת ביצועים

מקרה בוחן: החלפת נירוסטה מעובדתתאים עם אלומיניוםמפחית את עלויות החומרים ב-40% ואת זמן העיבוד השבבי ב-35% (בהתבסס על מדדי הביצועים בתעשייה לשנת 2024).

פתרונות האלומיניום שלנו לתאי דיוק

גופי תא ומכסים

חומר: לוחות אלומיניום 5083/6061 (עד 150 מ"מ עובי)

תהליך: עיבוד שבבי CNC תואם לוואקום עם גימור משטח Ra ≤ 0.8μm

מפרט טכני: טיפול בחום AMS 2772, בדיקה אולטרסאונד 100%

רכיבי חלוקת גז