Виробництво напівпровідників вимагає надзвичайної точності, і камера — серце критично важливого обладнання, такого як реактори CVD та машини для травлення — відіграє ключову роль. У цьому посібнику розглядаються основи проектування камер та те, як високочисті алюмінієві сплави вирішують ключові проблеми галузі.

5 критичних факторів, що впливають на продуктивність камери (і як алюміній перевершує інших)

1. Сумісність з надвисоким вакуумом (UHV) та запобігання витокам

Проблема: Мікроскопічні витоки порушують цілісність процесу.

Перевага алюмінію:Безшовні корпуси, оброблені на ЧПКз алюмінієвих заготовок усувають точки зварювання. Наш сплав 6061-T6 досягає швидкості витоку гелію < 10⁻⁹ мбар·л/с.

2. Термічний менеджмент: стабільність за екстремальних циклічних навантажень

Проблема: Термічна деформація призводить до забруднення частинками.

Рішення: Вища теплопровідність алюмінію (≈150 Вт/м·K) перевершує нержавіючу сталь. Наші виготовлені на замовлення алюмінієві пластини мають канали охолодження для рівномірності ±0,5°C.

3. Стійкість до плазмової корозії в суворих умовах

Дані: Анодований алюміній (товщиною понад 25 мкм) витримує в 10 разів довше вплив плазми CF₄/O₂ порівняно з необробленими поверхнями.

4. Магнітна проникність: цілісність процесу радіочастотного/плазмового випромінювання

Чому алюміній? Майже нульова магнітна проникність запобігає спотворенню поля в травильних/імплантаційних апаратах.

5. Оптимізація вартості та продуктивності

Тематичне дослідження: Заміна обробленої нержавіючої сталікамери з алюмініюзменшує витрати на матеріали на 40% та час обробки на 35% (на основі галузевих показників 2024 року).

Наші алюмінієві рішення для прецизійних камер

Корпуси та кришки камер

Матеріал: алюмінієві пластини 5083/6061 (товщиною до 150 мм)

Процес: вакуумно-сумісна обробка на верстатах з ЧПК з поверхнею Ra ≤ 0,8 мкм

Основні характеристики: термічна обробка AMS 2772, 100% ультразвуковий контроль

Компоненти газорозподілу

Продукція: Прецизійні алюмінієві труби (зовнішній діаметр 3-200 мм) з внутрішніми мікроотвірами

Технологія: Глибоке свердління отворів (співвідношення L/D 30:1), електрополірування

Структурні опори та кріплення

Матеріал: алюмінієві стрижні 7075-T651 (високе співвідношення міцності до ваги)

Відповідність: стандарти SEMI F72 для контролю виділення газів

Чому варто співпрацювати з нами для вашого проекту напівпровідникової камери?

1. Спеціальна обробка в чистих приміщеннях: приміщення класу 1000 запобігає забрудненню твердими частинками.

2. Відстеження матеріалів: звіти про випробування млинів длякожна алюмінієва пластина/стрижень/трубка.

3. Плазмооптимізована обробка: запатентована пасивація для стійкості до корозії.

4. Швидке прототипування: 15-денний термін виконання для складних геометрій камер.