सेमीकंडक्टर उत्पादनासाठी अत्यंत अचूकता आवश्यक असते आणि चेंबर - सीव्हीडी रिअॅक्टर आणि एचिंग मशीन सारख्या महत्त्वाच्या उपकरणांचे हृदय - एक महत्त्वाची भूमिका बजावते. हे मार्गदर्शक चेंबर डिझाइनच्या आवश्यक गोष्टी आणि उच्च-शुद्धता असलेल्या अॅल्युमिनियम मिश्र धातु उद्योगातील प्रमुख आव्हाने कशी सोडवतात याचा शोध घेते.
चेंबरच्या कामगिरीचे 5 महत्त्वाचे घटक (आणि अॅल्युमिनियम कसे उत्कृष्ट आहे)
१. अल्ट्रा-हाय व्हॅक्यूम (UHV) सुसंगतता आणि गळती प्रतिबंध
समस्या: सूक्ष्म गळतीमुळे प्रक्रियेची अखंडता बिघडते.
अॅल्युमिनियमचा फायदा:सीमलेस सीएनसी-मशीन केलेले बॉडीजअॅल्युमिनियम बिलेट्समधून वेल्ड पॉइंट्स काढून टाकले जातात. आमचे 6061-T6 मिश्र धातु 10⁻⁹ mbar·L/sec हेलियम गळती दरापेक्षा कमी मिळवते.
२. थर्मल व्यवस्थापन: अत्यंत सायकलिंग अंतर्गत स्थिरता
समस्या: थर्मल वॉर्पिंगमुळे कण दूषित होतात.
उपाय: अॅल्युमिनियमची उत्कृष्ट थर्मल चालकता (≈१५० W/m·K) स्टेनलेस स्टीलपेक्षा चांगली कामगिरी करते. आमच्या कस्टम-फॅब्रिकेटेड अॅल्युमिनियम प्लेट्स ±०.५°C एकसमानतेसाठी कूलिंग चॅनेल एकत्रित करतात.
३. कठोर वातावरणात प्लाझ्मा गंज प्रतिकार
डेटा पॉइंट: एनोडाइज्ड अॅल्युमिनियम (२५μm+ जाडी) उपचार न केलेल्या पृष्ठभागांच्या तुलनेत CF₄/O₂ प्लाझ्मा एक्सपोजरपेक्षा १० पट जास्त काळ टिकते.
४. चुंबकीय पारगम्यता: आरएफ/प्लाझ्मा प्रक्रिया अखंडता
अॅल्युमिनियम का? जवळजवळ शून्य चुंबकीय पारगम्यता एचर्स/इम्प्लांटर्समध्ये फील्ड विकृती रोखते.
५. खर्च विरुद्ध कामगिरी ऑप्टिमायझेशन
केस स्टडी: मशीन केलेले स्टेनलेस बदलणेअॅल्युमिनियम असलेले चेंबर्ससाहित्याचा खर्च ४०% आणि मशीनिंगचा वेळ ३५% ने कमी करते (२०२४ च्या उद्योग बेंचमार्कवर आधारित).
प्रिसिजन चेंबर्ससाठी आमचे अॅल्युमिनियम सोल्युशन्स
चेंबर बॉडीज आणि झाकण
साहित्य: ५०८३/६०६१ अॅल्युमिनियम प्लेट्स (१५० मिमी जाडीपर्यंत)
प्रक्रिया: Ra ≤ 0.8μm पृष्ठभागाच्या फिनिशसह व्हॅक्यूम-सुसंगत सीएनसी मशीनिंग
मुख्य वैशिष्ट्ये: AMS 2772 उष्णता उपचार, 100% अल्ट्रासोनिक चाचणी
गॅस वितरण घटक
उत्पादने: अंतर्गत मायक्रो-बोअरसह अचूक अॅल्युमिनियम ट्यूब (OD 3mm-200mm)
तंत्रज्ञान: खोल-भोक ड्रिलिंग (एल/डी प्रमाण ३०:१), इलेक्ट्रोपॉलिशिंग
स्ट्रक्चरल सपोर्ट आणि फास्टनर्स
साहित्य: ७०७५-T६५१ अॅल्युमिनियम रॉड्स (उच्च ताकद-ते-वजन गुणोत्तर)
अनुपालन: बाहेरून वायू बाहेर टाकण्याच्या नियंत्रणासाठी SEMI F72 मानके
तुमच्या सेमीकंडक्टर चेंबर प्रकल्पासाठी आमच्यासोबत भागीदारी का करावी?
१. समर्पित क्लीनरूम मशीनिंग: वर्ग १००० सुविधा कण दूषित होण्यापासून प्रतिबंधित करते.
२. मटेरियल ट्रेसेबिलिटी: गिरणी चाचणी अहवालप्रत्येक अॅल्युमिनियम प्लेट/रॉड/ट्यूब.
३. प्लाझ्मा-ऑप्टिमाइज्ड फिनिशिंग: गंज प्रतिकारासाठी प्रोप्रायटरी पॅसिव्हेशन.
४. जलद प्रोटोटाइपिंग: जटिल चेंबर भूमितींसाठी १५ दिवसांचा लीड टाइम.
पोस्ट वेळ: जून-११-२०२५