Výroba polovodičů vyžaduje extrémní přesnost a komora – srdce kritických zařízení, jako jsou CVD reaktory a leptací stroje – hraje klíčovou roli. Tato příručka zkoumá základy konstrukce komor a to, jak vysoce čisté hliníkové slitiny řeší klíčové výzvy v průmyslu.

5 kritických faktorů ovlivňujících výkon komory (a jak hliník vyniká)

1. Kompatibilita s ultravysokým vakuem (UHV) a prevence úniků

Problém: Mikroskopické netěsnosti narušují integritu procesu.

Výhoda hliníku:Bezešvé CNC obráběné karoseriez hliníkových ingotů eliminují svarové body. Naše slitina 6061-T6 dosahuje rychlosti úniku hélia < 10⁻⁹ mbar·L/s.

2. Tepelný management: Stabilita při extrémním cyklování

Problém: Tepelná deformace způsobuje kontaminaci částicemi.

Řešení: Vynikající tepelná vodivost hliníku (≈150 W/m·K) překonává nerezovou ocel. Naše hliníkové desky vyrobené na zakázku integrují chladicí kanály pro rovnoměrnost ±0,5 °C.

3. Odolnost proti plazmové korozi v náročných podmínkách

Datový bod: Eloxovaný hliník (tloušťka 25 μm a více) odolává 10krát delší expozici plazmatu CF₄/O₂ oproti neošetřeným povrchům.

4. Magnetická permeabilita: Integrita RF/plazmového procesu

Proč hliník? Téměř nulová magnetická permeabilita zabraňuje zkreslení pole v leptadlech/implantátech.

5. Optimalizace nákladů vs. výkonu

Případová studie: Výměna obráběné nerezové ocelikomory s hliníkemsnižuje náklady na materiál o 40 % a dobu obrábění o 35 % (na základě oborových benchmarků z roku 2024).

Naše hliníková řešení pro přesné komory

Těla a víka komor

Materiál: Hliníkové desky 5083/6061 (až do tloušťky 150 mm)

Proces: CNC obrábění kompatibilní s vakuem s povrchovou úpravou Ra ≤ 0,8 μm

Klíčové specifikace: Tepelné zpracování AMS 2772, 100% ultrazvukové testování

Komponenty pro distribuci plynu

Produkty: Přesné hliníkové trubky (vnější průměr 3 mm–200 mm) s vnitřními mikrootvory

Technologie: Vrtání hlubokých otvorů (poměr L/D 30:1), elektrolytické leštění

Konstrukční podpěry a spojovací prvky

Materiál: Hliníkové tyče 7075-T651 (vysoký poměr pevnosti k hmotnosti)

Shoda: Normy SEMI F72 pro kontrolu odplyňování

Proč si s námi spolupracovat při vašem projektu polovodičové komory?

1. Vyhrazené obrábění v čistých prostorách: Zařízení třídy 1000 zabraňuje kontaminaci částicemi.

2. Sledovatelnost materiálu: Zkušební protokoly z mlýna prokaždý hliníkový plech/tyč/trubka.

3. Plazmou optimalizovaná povrchová úprava: Patentovaná pasivace pro odolnost proti korozi.

4. Rychlé prototypování: 15denní dodací lhůta pro složité geometrie komor.