Utengenezaji wa semicondukta hudai usahihi wa hali ya juu, na chumba—moyo wa vifaa muhimu kama vinu vya CVD na mashine za etching—hucheza jukumu muhimu. Mwongozo huu unachunguza mambo muhimu ya muundo wa chumba na jinsi aloi za alumini zenye ubora wa juu zinavyotatua changamoto kuu za tasnia.

Mambo 5 Muhimu Utendaji wa Chumba cha Kuendesha (Na Jinsi Alumini Inavyoboreka)

1. Utangamano wa Utupu wa Juu sana (UHV) na Uzuiaji wa Uvujaji

Tatizo: Uvujaji wa hadubini huharibu uadilifu wa mchakato.

Faida ya Alumini:Miili isiyo na mshono iliyotengenezwa na CNCkutoka kwa billets za alumini kuondokana na pointi za weld. Aloi yetu ya 6061-T6 inafanikisha <10⁻⁹ mbar·L/sek viwango vya uvujaji wa heliamu.

2. Usimamizi wa Joto: Utulivu Chini ya Kuendesha Baiskeli Kubwa

Tatizo: Vita vya joto husababisha uchafuzi wa chembe.

Suluhisho: Uendeshaji wa hali ya juu wa joto wa Alumini (≈150 W/m·K) hupita chuma cha pua. Sahani zetu za alumini zilizoundwa maalum huunganisha chaneli za kupoeza kwa ±0.5°C kusawazisha.

3. Upinzani wa Kutu wa Plasma katika Mazingira Makali

Pointi ya Data: Alumini isiyo na kipimo (unene wa 25μm+) inastahimili mfiduo wa plasma ya CF₄/O₂ mara 10 dhidi ya nyuso zisizotibiwa.

4. Upenyezaji wa Magnetic: Uadilifu wa Mchakato wa RF/Plasma

Kwa nini Aluminium? Upenyezaji wa sumaku wa karibu sufuri huzuia upotoshaji wa uga katika vichochezi/vipandikiza.

5. Gharama dhidi ya Uboreshaji wa Utendaji

Uchunguzi kifani: Kubadilisha mashine isiyo na puavyumba vyenye aluminihupunguza gharama za nyenzo kwa 40% na wakati wa machining kwa 35% (kulingana na viwango vya 2024 vya sekta).

Suluhu zetu za Alumini kwa Vyumba vya Usahihi

Chumba Bodies & Vifuniko

Nyenzo: Sahani za Alumini 5083/6061 (hadi 150mm nene)

Mchakato: Utengenezaji wa CNC unaolingana na utupu na umaliziaji wa uso wa Ra ≤ 0.8μm

Vipimo Muhimu: Matibabu ya joto ya AMS 2772, upimaji wa ultrasonic 100%.

Vipengele vya Usambazaji wa Gesi

Bidhaa: Mirija ya alumini ya usahihi (OD 3mm-200mm) yenye vibomba vidogo vya ndani

Teknolojia: Uchimbaji wa shimo la kina (uwiano wa L / D 30: 1), umeme wa umeme

Usaidizi wa Kimuundo & Vifunga

Nyenzo: Fimbo za Aluminium 7075-T651 (uwiano wa juu wa nguvu hadi uzani)

Uzingatiaji: Viwango vya SEMI F72 vya udhibiti wa uondoaji gesi

Kwa nini Ushirikiane Nasi kwa Mradi wako wa Chumba cha Semiconductor?

1. Uchimbaji wa Kujitolea wa Chumba: Kituo cha darasa la 1000 huzuia uchafuzi wa chembe.

2. Ufuatiliaji wa Nyenzo: Ripoti za majaribio ya kinukila sahani ya alumini/fimbo/tube.

3. Ukamilishaji Ulioboreshwa wa Plasma: Upitishaji wa umiliki kwa upinzani wa kutu.

4. Uchapaji wa Haraka: Muda wa siku 15 wa kuongoza kwa jiometri changamano za chumba.