تولید نیمههادیها نیازمند دقت بسیار بالایی است و محفظه - قلب تجهیزات حیاتی مانند راکتورهای CVD و دستگاههای حکاکی - نقش محوری در آن ایفا میکند. این راهنما به بررسی ملزومات طراحی محفظه و چگونگی حل چالشهای کلیدی صنعت توسط آلیاژهای آلومینیوم با خلوص بالا میپردازد.
5 عامل حیاتی که عملکرد محفظه احتراق را هدایت میکنند (و چگونه آلومینیوم برتری مییابد)
۱. سازگاری با خلاء فوق العاده بالا (UHV) و جلوگیری از نشت
مشکل: نشتهای میکروسکوپی، یکپارچگی فرآیند را از بین میبرند.
مزیت آلومینیوم:بدنههای بدون درز ماشینکاری شده با CNCاز بیلتهای آلومینیومی، نقاط جوش حذف میشوند. آلیاژ 6061-T6 ما به نرخ نشت هلیوم کمتر از 10⁻⁹ میلیبار · لیتر بر ثانیه دست مییابد.
۲. مدیریت حرارتی: پایداری تحت چرخههای شدید
مشکل: تاب برداشتن حرارتی باعث آلودگی ذرات میشود.
راه حل: رسانایی حرارتی برتر آلومینیوم (≈150 W/m·K) از فولاد ضد زنگ بهتر است. صفحات آلومینیومی سفارشی ما دارای کانالهای خنککننده برای یکنواختی ±0.5°C هستند.
۳. مقاومت در برابر خوردگی پلاسما در محیطهای سخت
نکته قابل توجه: آلومینیوم آنودایز شده (با ضخامت بیش از ۲۵ میکرومتر) در مقایسه با سطوح بدون پوشش، ۱۰ برابر بیشتر در برابر پلاسمای CF₄/O₂ مقاومت میکند.
۴. نفوذپذیری مغناطیسی: یکپارچگی فرآیند RF/پلاسما
چرا آلومینیوم؟ نفوذپذیری مغناطیسی نزدیک به صفر از اعوجاج میدان در قلمزنیها/کاشتکنندهها جلوگیری میکند.
۵. بهینهسازی هزینه در مقابل بهینهسازی عملکرد
مطالعه موردی: جایگزینی فولاد ضد زنگ ماشینکاری شدهمحفظههایی با آلومینیومهزینههای مواد را تا ۴۰٪ و زمان ماشینکاری را تا ۳۵٪ کاهش میدهد (بر اساس معیارهای صنعتی ۲۰۲۴).
راهکارهای آلومینیومی ما برای محفظههای دقیق
بدنه و درب محفظه
جنس: صفحات آلومینیومی 5083/6061 (تا ضخامت 150 میلیمتر)
فرآیند: ماشینکاری CNC سازگار با خلاء با پرداخت سطح Ra ≤ 0.8μm
مشخصات کلیدی: عملیات حرارتی AMS 2772، تست اولتراسونیک ۱۰۰٪
قطعات توزیع گاز
محصولات: لولههای آلومینیومی دقیق (OD 3mm-200mm) با سوراخهای ریز داخلی
فناوری: سوراخکاری عمیق (نسبت طول به عمق 30:1)، الکتروپولیش
تکیهگاهها و بستهای سازهای
جنس: میلههای آلومینیومی 7075-T651 (نسبت استحکام به وزن بالا)
انطباق: استانداردهای SEMI F72 برای کنترل گاز خروجی
چرا برای پروژه محفظه نیمههادی خود با ما همکاری کنید؟
۱. ماشینکاری اختصاصی در اتاق تمیز: تأسیسات کلاس ۱۰۰۰ از آلودگی ذرات جلوگیری میکند.
۲. قابلیت ردیابی مواد: گزارشهای آزمایش آسیاب برایهر صفحه آلومینیومی/میله/لوله.
۳. پرداخت بهینه شده با پلاسما: غیرفعالسازی اختصاصی برای مقاومت در برابر خوردگی.
۴. نمونهسازی سریع: زمان تحویل ۱۵ روزه برای هندسههای پیچیده محفظه.
زمان ارسال: 11 ژوئن 2025