Il-manifattura tas-semikondutturi teħtieġ preċiżjoni estrema, u l-kompartiment—il-qalba ta’ tagħmir kritiku bħar-reatturi CVD u l-magni tal-inċiżjoni—għandu rwol kruċjali. Din il-gwida tesplora l-essenzjali tad-disinn tal-kompartiment u kif il-ligi tal-aluminju ta’ purità għolja jsolvu l-isfidi ewlenin tal-industrija.

5 Fatturi Kritiċi li Jmexxu l-Prestazzjoni tal-Kamra (U Kif l-Aluminju Jispikka)

1. Kompatibilità mal-Vakwu Ultra-Għoli (UHV) u Prevenzjoni tat-Tnixxijiet

Problema: Tnixxijiet mikroskopiċi jħassru l-integrità tal-proċess.

Vantaġġ tal-Aluminju:Korpi mingħajr saldatura maħduma bis-CNCminn billetti tal-aluminju jeliminaw il-punti tal-weldjatura. Il-liga 6061-T6 tagħna tikseb rati ta' tnixxija tal-elju < 10⁻⁹ mbar·L/sek.

2. Ġestjoni Termali: Stabbiltà Taħt Ċikliżmu Estrem

Problema: It-tgħawwiġ termali jikkawża kontaminazzjoni tal-partiċelli.

Soluzzjoni: Il-konduttività termali superjuri tal-aluminju (≈150 W/m·K) hija aħjar mill-azzar inossidabbli. Il-pjanċi tal-aluminju tagħna fabbrikati apposta jintegraw kanali tat-tkessiħ għal uniformità ta' ±0.5°C.

3. Reżistenza għall-Korrużjoni tal-Plażma f'Ambjenti Ħorox

Punt tad-Data: L-aluminju anodizzat (ħxuna ta' 25μm+) jiflaħ espożizzjoni għall-plażma CF₄/O₂ 10 darbiet itwal meta mqabbel ma' uċuħ mhux ittrattati.

4. Permeabilità Manjetika: Integrità tal-Proċess RF/Plażma

Għaliex l-Aluminju? Permeabilità manjetika kważi żero tipprevjeni d-distorsjoni tal-kamp fl-inċiżuri/impjantaturi.

5. L-Ottimizzazzjoni tal-Ispiża vs. il-Prestazzjoni

Studju tal-Każ: Sostituzzjoni tal-istainless steel maħdum bil-magnikmamar bl-aluminjuinaqqas l-ispejjeż tal-materjal b'40% u l-ħin tal-magni b'35% (ibbażat fuq parametri referenzjarji tal-industrija tal-2024).

Is-Soluzzjonijiet tal-Aluminju tagħna għal Kmamar ta' Preċiżjoni

Korpi u Għotjien tal-Kamra

Materjal: Pjanċi tal-Aluminju 5083/6061 (sa 150mm ħxuna)

Proċess: Makkinar CNC kompatibbli mal-vakwu b'finitura tal-wiċċ Ra ≤ 0.8μm

Speċifikazzjonijiet Ewlenin: Trattament bis-sħana AMS 2772, ittestjar ultrasoniku ta' 100%

Komponenti tad-Distribuzzjoni tal-Gass

Prodotti: Tubi tal-aluminju ta' preċiżjoni (OD 3mm-200mm) b'mikro-toqob interni

Teknoloġija: Tħaffir ta' toqob fondi (proporzjon L/D 30:1), illustrar bl-elettroduzzjoni

Appoġġi Strutturali u Qafliet

Materjal: Vireg tal-Aluminju 7075-T651 (proporzjon għoli ta' saħħa għall-piż)

Konformità: Standards SEMI F72 għall-kontroll tal-ħruġ tal-gass

Għaliex Tissieħeb Magħna għall-Proġett tal-Kamra tas-Semikondutturi Tiegħek?

1. Makkinar ta' Kamra Nadifa Dedikata: Il-faċilità tal-Klassi 1000 tipprevjeni l-kontaminazzjoni tal-partikuli.

2. Traċċabilità tal-Materjal: Rapporti tat-test tal-mitħna għalkull pjanċa tal-aluminju/virga/tubu.

3. Irfinar Ottimizzat bil-Plażma: Passivazzjoni proprjetarja għar-reżistenza għall-korrużjoni.

4. Prototipar Rapidu: Ħin ta' produzzjoni ta' 15-il jum għal ġeometriji kumplessi tal-kompartimenti.