Manufaktur semikonduktor mbutuhake presisi sing ekstrem, lan kamar-jantung peralatan kritis kaya reaktor CVD lan mesin etsa-muter peran penting. Pandhuan iki nylidiki pentinge desain kamar lan carane wesi aluminium kemurnian dhuwur ngatasi tantangan industri utama.

5 Faktor Kritis Nyopir Kinerja Kamar (Lan Cara Aluminium Excels)

1. Kompatibilitas Ultra-High Vacuum (UHV) & Nyegah Bocor

Masalah: Bocor mikroskopis ngrusak integritas proses.

Kaluwihan Aluminium:Badan mesin CNC sing mulussaka billet aluminium ngilangke titik weld. Paduan 6061-T6 kita entuk <10⁻⁹ tingkat bocor helium mbar·L/sec.

2. Manajemen Thermal: Stabilitas Ing Cycling Extreme

Masalah: Warping termal nyebabake kontaminasi partikel.

Solusi: Konduktivitas termal unggul aluminium (≈150 W/m·K) ngluwihi baja tahan karat. Piring aluminium digawe khusus kita nggabungake saluran pendinginan kanggo keseragaman ± 0,5 ° C.

3. Tahan Korosi Plasma ing Lingkungan Atos

Titik Data: Aluminium anodized (25μm + kekandelan) tahan 10x luwih dawa paparan plasma CF₄/O₂ vs permukaan sing ora diobati.

4. Permeabilitas Magnetik: RF / Integritas Proses Plasma

Kenapa Aluminium? Permeabilitas magnetik cedhak-nol nyegah distorsi lapangan ing etchers / implanter.

5. Biaya vs Optimization Kinerja

Studi Kasus: Ngganti mesin stainless steelkamar karo aluminiumnyuda biaya materi 40% lan wektu mesin 35% (adhedhasar 2024 benchmarks industri).

Solusi Aluminium Kita kanggo Kamar Presisi

Badan & Tutup Kamar

Bahan: 5083/6061 Plat Aluminium (nganti 150mm tebal)

Proses: Mesin CNC sing kompatibel karo vakum kanthi Ra ≤ 0.8μm permukaan rampung

Spesifikasi Utama: AMS 2772 heat treatment, 100% ultrasonik testing

Komponen Distribusi Gas

Produk: Tabung aluminium presisi (OD 3mm-200mm) kanthi lubang mikro internal

Tech: Pengeboran bolongan jero (rasio L/D 30:1), electropolishing

Dhukungan Struktural & Fasteners

Bahan: 7075-T651 Aluminium Rods (rasio kekuatan-kanggo-bobot dhuwur)

Kepatuhan: standar SEMI F72 kanggo kontrol outgassing

Napa Mitra Kita Kanggo Proyek Kamar Semikonduktor Sampeyan?

1. Mesin Cleanroom khusus: fasilitas Kelas 1000 nyegah kontaminasi partikulat.

2. Traceability Material: laporan test Mill kanggosaben piring aluminium/rod/tabung.

3. Plasma-Optimized Finishing: passivation Proprietary kanggo resistance karat.

4. Rapid Prototyping: 15-dina timbal wektu kanggo geometri kamar Komplek.