ለሴሚኮንዳክተር ክፍሎች የመጨረሻው መመሪያ፡ ለምን አልሙኒየም የምርጫው ቁሳቁስ ነው።

ሴሚኮንዳክተር ማምረቻ እጅግ በጣም ትክክለኛነትን ይፈልጋል፣ እና ክፍሉ—እንደ ሲቪዲ ሪአክተሮች እና ኢቺንግ ማሽኖች ያሉ ወሳኝ መሳሪያዎች ልብ—ወሳኝ ሚና ይጫወታል። ይህ መመሪያ የክፍል ዲዛይን አስፈላጊ ነገሮችን እና ከፍተኛ ንፅህና ያላቸው የአሉሚኒየም ውህዶች ቁልፍ የኢንዱስትሪ ፈተናዎችን እንዴት እንደሚፈቱ ይዳስሳል።

5 ወሳኝ ምክንያቶች የመንዳት ክፍል አፈፃፀም (እና አሉሚኒየም ኤክሴልስ)

1. እጅግ በጣም ከፍተኛ ቫክዩም (UHV) ተኳኋኝነት እና መፍሰስ መከላከል

ችግር፡ በአጉሊ መነጽር ብቻ የሚታዩ ፍንጣቂዎች የሂደቱን ታማኝነት ያበላሻሉ።

የአሉሚኒየም ጥቅም:እንከን የለሽ የሲኤንሲ ማሽን አካላትከአሉሚኒየም ብሌቶች የመበየድ ነጥቦችን ያስወግዳል. የእኛ 6061-T6 ቅይጥ <10⁻⁹ mbar·L/ሰከንድ የሂሊየም ፍሰት መጠንን አሳክቷል።

2. የሙቀት አስተዳደር: በከፍተኛ ብስክሌት ውስጥ መረጋጋት

ችግር፡ የሙቀት መጨመር ቅንጣት መበከልን ያስከትላል።

መፍትሄ: የአሉሚኒየም የላቀ የሙቀት መቆጣጠሪያ (≈150 W / m · K) ከማይዝግ ብረት ይበልጣል. የእኛ ብጁ-የተሰራ የአሉሚኒየም ሳህኖች የማቀዝቀዣ ቻናሎችን ለ ± 0.5 ° ሴ ተመሳሳይነት ያዋህዳሉ።

3. በሃርሽ አከባቢዎች ውስጥ የፕላዝማ ዝገት መቋቋም

የውሂብ ነጥብ፡- አኖዳይዝድ አልሙኒየም (25μm+ ውፍረት) 10x ረዘም ያለ CF₄/O₂ የፕላዝማ መጋለጥን ያልታከሙ ንጣፎችን ይቋቋማል።

4. መግነጢሳዊ መተላለፊፍ፡ RF/Plasma Process Integrity

አልሙኒየም ለምን? ከዜሮ-ቅርብ መግነጢሳዊ መግነጢሳዊነት በ etchers/implanters ውስጥ የመስክ መዛባትን ይከላከላል።

5. ወጪ እና የአፈጻጸም ማመቻቸት