Истеҳсоли нимноқилҳо дақиқии шадидро талаб мекунад ва камера - дили таҷҳизоти муҳим, ба монанди реакторҳои CVD ва мошинҳои сӯзишворӣ - нақши муҳим мебозад. Ин дастур асосҳои тарҳрезии камераро меомӯзад ва чӣ гуна хӯлаҳои алюминии тозагии баланд мушкилоти асосии соҳаро ҳал мекунанд.

5 омилҳои муҳими фаъолияти палатаи ронандагӣ (ва чӣ гуна Алюминий Excels)

1. Мутобиқати ултра-баланд чангкашак (UHV) & Пешгирии ихроҷ

Мушкилот: Ихроҷи микроскопӣ якпорчагии равандро вайрон мекунад.

Афзалияти алюминий:Ҷисми бефосилаи CNC коркардшудааз billets алюминий бартараф нуқтаҳои кафшер. Хӯлаи 6061-T6 мо суръати ихроҷи гелийро <10⁻⁹ mbar·L/s ба даст меорад.

2. Идоракунии гармидиҳӣ: Субот дар зери сиклии шадид

Мушкилот: Тағйирёбии гармӣ боиси олудашавии зарраҳо мегардад.

Ҳалли: Қобилияти гармидиҳии олии алюминий (≈150 Вт/м·К) аз пӯлоди зангногир бартарӣ дорад. Плитаҳои алюминийи фармоишии мо каналҳои хунуккуниро барои якрангии ± 0,5 ° C муттаҳид мекунанд.

3. Муқовимат ба зангзании плазма дар муҳити сахт

Нуқтаи маълумот: Алюминийи анодшуда (ғафсӣ 25мкм+) ба таъсири плазмаи CF₄/O₂ нисбат ба сатҳи коркарднашуда 10 маротиба зиёдтар тоб меорад.

4. Гузариши магнитӣ: RF / тамомияти раванди плазма

Чаро Алюминий? Гузариши магнитии наздик ба сифр таҳрифи майдонро дар etchers/implanters пешгирӣ мекунад.

5. Арзиш ва оптимизатсияи иҷроиш

Омӯзиши мисол: Иваз кардани коркарди зангногиркамераҳо бо алюминийхароҷоти моддиро 40% ва вақти коркардро 35% кам мекунад (дар асоси нишондиҳандаҳои саноатӣ дар соли 2024).

Қарорҳои алюминийи мо барои палатаҳои дақиқ

Ҷисмҳои палата ва сарпӯшҳо

Мавод: 5083/6061 плитаҳои алюминии (қафсӣ то 150 мм)

Раванд: коркарди CNC бо чангкашак мувофиқ бо сатҳи Ra ≤ 0,8μm

Хусусиятҳои асосӣ: AMS 2772 коркарди гармӣ, 100% санҷиши ултрасадо

Қисмҳои тақсимоти газ

Маҳсулот: қубурҳои алюминийи дақиқ (OD 3mm-200mm) бо микро-бурҳои дохилӣ

Технология: Пармакунии чуқури сӯрохи (таносуби L / D 30: 1), электрополиш

Дастгоҳҳои сохторӣ ва пайвасткунакҳо

Мавод: 7075-T651 Асои алюминий (таносуби қувват ба вазн)

Мутобиқат: Стандартҳои SEMI F72 барои назорати берун аз газ

Чаро дар лоиҳаи палатаи нимноқилҳои худ бо мо шарик шавед?

1. Коркарди ҳуҷраи тоза: Иншооти синфи 1000 олудашавии зарраҳоро пешгирӣ мекунад.

2. Пайгирии моддӣ: Ҳисоботи санҷиши Милл бароихар як плитаи алюминий/асои/туб.

3. Пардохти плазмаи оптимизатсияшуда: Пассиватсияи хусусӣ барои муқовимат ба зангзанӣ.

4. Рапидсозии прототипи: 15-рӯза вақти ӯҳда барои геометрияҳои палатаи мураккаб.