Производња полупроводника захтева изузетну прецизност, а комора – срце критичне опреме попут CVD реактора и машина за нагризање – игра кључну улогу. Овај водич истражује основне елементе дизајна комора и како легуре алуминијума високе чистоће решавају кључне изазове у индустрији.

5 критичних фактора који утичу на перформансе коморе (и како се алуминијум истиче)

1. Компатибилност са ултрависоким вакуумом (UHV) и спречавање цурења

Проблем: Микроскопска цурења нарушавају интегритет процеса.

Предност алуминијума:Бешавна тела обрађена CNC машиномиз алуминијумских греда елиминишу тачке завара. Наша легура 6061-Т6 постиже брзину цурења хелијума < 10⁻⁹ mbar·L/sec.

2. Термално управљање: Стабилност при екстремним циклусима

Проблем: Термално савијање узрокује контаминацију честицама.

Решење: Алуминијум има супериорну топлотну проводљивост (≈150 W/m·K) у односу на нерђајући челик. Наше алуминијумске плоче израђене по мери имају интегрисане канале за хлађење за уједначеност од ±0,5°C.

3. Отпорност на плазма корозију у тешким условима

Подаци: Анодизирани алуминијум (дебљине 25μm+) издржава 10 пута дуже излагање CF₄/O₂ плазми у односу на необрађене површине.

4. Магнетна пермеабилност: интегритет РФ/плазма процеса

Зашто алуминијум? Магнетна пермеабилност скоро нуле спречава изобличење поља у уређајима за нагризање/имплантацију.

5. Оптимизација трошкова наспрам оптимизације перформанси

Студија случаја: Замена машински обрађеног нерђајућег челикакоморе са алуминијумомсмањује трошкове материјала за 40% и време обраде за 35% (на основу индустријских референтних вредности из 2024. године).

Наша алуминијумска решења за прецизне коморе

Тела и поклопци комора

Материјал: Алуминијумске плоче 5083/6061 (дебљине до 150 мм)

Процес: ЦНЦ обрада компатибилна са вакуумом са површинском завршном обрадом Ra ≤ 0,8 μm

Кључне спецификације: термичка обрада AMS 2772, 100% ултразвучно испитивање

Компоненте за дистрибуцију гаса

Производи: Прецизне алуминијумске цеви (спољни пречник 3 мм-200 мм) са унутрашњим микро-отворима

Технологија: Бушење дубоких рупа (однос L/D 30:1), електрополирање

Структурни носачи и причвршћивачи

Материјал: Алуминијумске шипке 7075-T651 (висок однос чврстоће и тежине)

Усклађеност: SEMI F72 стандарди за контролу испуштања гаса

Зашто бисте сарађивали са нама за ваш пројекат полупроводничке коморе?

1. Наменска обрада у чистим просторијама: Објекат класе 1000 спречава контаминацију честицама.

2. Следљивост материјала: Извештаји о испитивању млина засвака алуминијумска плоча/шип/цев.

3. Завршна обрада оптимизована плазмом: Патентирана пасивација за отпорност на корозију.

4. Брза израда прототипова: време испоруке од 15 дана за сложене геометрије комора.