Proizvodnja poluvodiča zahtijeva ekstremnu preciznost, a komora - srce kritične opreme poput CVD reaktora i strojeva za jetkanje - igra ključnu ulogu. Ovaj vodič istražuje osnove dizajna komore i kako aluminijske legure visoke čistoće rješavaju ključne izazove u industriji.

5 kritičnih čimbenika koji utječu na performanse komore (i kako aluminij briljira)

1. Kompatibilnost s ultra visokim vakuumom (UHV) i sprječavanje curenja

Problem: Mikroskopska curenja uništavaju integritet procesa.

Prednost aluminija:Bešavna CNC obrađena tijelaiz aluminijskih gredica uklanjaju se mjesta zavara. Naša legura 6061-T6 postiže brzinu curenja helija < 10⁻⁹ mbar·L/s.

2. Upravljanje toplinom: Stabilnost pri ekstremnim ciklusima

Problem: Termičko savijanje uzrokuje kontaminaciju česticama.

Rješenje: Aluminij ima vrhunsku toplinsku vodljivost (≈150 W/m·K) koja nadmašuje nehrđajući čelik. Naše aluminijske ploče izrađene po narudžbi imaju ugrađene kanale za hlađenje za ujednačenost od ±0,5 °C.

3. Otpornost na plazma koroziju u teškim uvjetima

Podaci: Anodizirani aluminij (debljine 25 μm+) podnosi 10 puta dulje izlaganje CF₄/O₂ plazmi u usporedbi s netretiranim površinama.

4. Magnetska permeabilnost: Integritet RF/plazma procesa

Zašto aluminij? Gotovo nulta magnetska permeabilnost sprječava izobličenje polja u jetkačima/implanterima.

5. Optimizacija troškova u odnosu na performanse

Studija slučaja: Zamjena strojno obrađenog nehrđajućeg čelikakomore s aluminijemsmanjuje troškove materijala za 40% i vrijeme obrade za 35% (na temelju industrijskih mjerila iz 2024.).

Naša aluminijska rješenja za precizne komore

Tijela i poklopci komora

Materijal: Aluminijske ploče 5083/6061 (debljine do 150 mm)

Postupak: CNC obrada kompatibilna s vakuumom s površinskom završnom obradom Ra ≤ 0,8 μm

Ključne specifikacije: toplinska obrada AMS 2772, 100% ultrazvučno ispitivanje

Komponente za distribuciju plina

Proizvodi: Precizne aluminijske cijevi (vanjski promjer 3 mm - 200 mm) s unutarnjim mikro-provrtima

Tehnologija: Bušenje dubokih rupa (omjer L/D 30:1), elektropoliranje

Strukturni nosači i pričvršćivači

Materijal: Aluminijske šipke 7075-T651 (visok omjer čvrstoće i težine)

Sukladnost: SEMI F72 standardi za kontrolu ispuštanja plinova

Zašto surađivati ​​s nama za vaš projekt poluvodičke komore?

1. Namjenska obrada u čistim sobama: Objekt klase 1000 sprječava kontaminaciju česticama.

2. Sljedivost materijala: Izvješća o ispitivanju mlinova zasvaka aluminijska ploča/šipka/cijev.

3. Završna obrada optimizirana plazmom: Vlasnička pasivizacija za otpornost na koroziju.

4. Brza izrada prototipa: 15-dnevno vrijeme isporuke za složene geometrije komora.